SiC 新型功率 MOS 器件結(jié)構(gòu)以及柵驅(qū)動電路的設(shè)計(jì)與研究

所在學(xué)院：廣州研究院 

項(xiàng)目概況

（一）項(xiàng)目背景

隨著電動汽車充電系統(tǒng)、5G基站、高鐵等技術(shù)的出現(xiàn)以及應(yīng)用，電力電子設(shè)備也逐漸向高壓大功率方向發(fā)展，功率半導(dǎo)體的性能是支撐上述前沿技術(shù)的關(guān)鍵。SiC器件作為三代半材料的典型代表器件，具有開關(guān)損耗低、耐高壓和耐高溫等優(yōu)良特性。本項(xiàng)目著重解決當(dāng)前SiC CMOS器件、功率器件尤其是MOS器件工藝、電路、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及功率器件高可靠性驅(qū)動電路設(shè)計(jì)的關(guān)鍵技術(shù)問題。 

（二）項(xiàng)目簡介

本項(xiàng)目旨在研究SiC功率MOS器件先進(jìn)工藝，重在柵介質(zhì)可靠性研究、界面態(tài)減小相關(guān)工藝并且自行設(shè)計(jì)新型高壓高功率SiC MOS功率器件，并設(shè)計(jì)針對半橋和全橋應(yīng)用時(shí)的高壓寄生效應(yīng)抑制的有源和無源柵驅(qū)動電路。

（三）關(guān)鍵技術(shù)

自行開發(fā)設(shè)計(jì)新型SiC MOS功率器件結(jié)構(gòu)、工藝流程、包括工藝的改進(jìn)、尤其是在柵介質(zhì)工藝方面、功率器件應(yīng)用的柵驅(qū)動電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)能夠有效改進(jìn)SiC MOS功率器件柵特性的新型結(jié)構(gòu)器件以及MOS功率器件結(jié)構(gòu)應(yīng)用時(shí)寄生效應(yīng)的抑制、新型高壓高可靠柵驅(qū)動電路，適用性強(qiáng)。 

技術(shù)成熟度 

?概念驗(yàn)證 ?原理樣機(jī) □工程樣機(jī) □中試 □產(chǎn)業(yè)化 

合作方式

 ?聯(lián)合研發(fā) □技術(shù)入股 ?轉(zhuǎn)讓 ?授權(quán)（許可）?面議 

（來源：西安電子科技大學(xué)技術(shù)轉(zhuǎn)移中心 廣州研究院）