
9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術及應用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心科創(chuàng)百人計劃研究員韓學峰將受邀出席論壇,并帶來了《PVT法生長4H-SiC晶體的缺陷形成與摻雜機理研究》的主題報告,敬請關注!
嘉賓簡介
韓學峰,浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心“科創(chuàng)百人”計劃研究員。2016年博士畢業(yè)于首爾大學,曾在日本九州大學、法國格勒諾布爾阿爾卑斯大學開展博士后研究。長期從事大尺寸硅及碳化硅單晶生長過程中傳熱傳質現(xiàn)象與數(shù)據(jù)科學研究,與國內外領先半導體材料企業(yè)建立了深入的合作關系。創(chuàng)新開發(fā)出偏角生長計算模型,基于該模型首先提出使用大籽晶降低基平面位錯策略。同時研發(fā)了多段式電阻加熱技術,助力合作企業(yè)入選杭州獨角獸企業(yè)。發(fā)表SCI論文40余篇,第一及通訊作者30余篇。獲得授權發(fā)明專利6項。作為負責人承擔國家自然科學基金項目,作為參與單位負責人承擔浙江省科技廳“尖兵”研發(fā)攻關計劃項目,浙江省自然基金重大項目,杭州市“西湖明珠工程” 領軍型創(chuàng)新團隊項目。入選浙江省海外高層次人才。擔任晶體生長領域權威SCI期刊《Journal of Crystal Growth》客座編輯,SCI期刊《Crystals》客座編輯,中文核心期刊《人工晶體學報》青年編委、碳化硅及相關材料國際會議(ICSCRM)組委會成員、第二十一屆國際晶體生長大會(ICCGE-21)分會主席、第九屆亞洲晶體生長技術大會(CGCT-9)分會主席、2025年第八屆機器學習與機器智能國際會議(MLMI2025)分會主席。
單位簡介
浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心成立于2019年9月20日,是新時代杭州市和浙江大學全面深化市校合作共建的重大創(chuàng)新平臺,是建設高水平創(chuàng)新型省份、打造區(qū)域科創(chuàng)高地的重大工程,是服務浙江打造“重要窗口”推進“兩個先行”的重要舉措。浙江大學杭州國際科創(chuàng)中心依托研究院、創(chuàng)新工坊在內的23個創(chuàng)新平臺,系統(tǒng)搭建“3全國重點實驗室+1省技術創(chuàng)新中心+1省制造業(yè)創(chuàng)新中心+1省級研究院+9省重點實驗室(4個牽頭、5個參與)+3省工程研究中心+3省國際聯(lián)合實驗室+1省國際合作基地”創(chuàng)新體系。
報告前瞻
報告題目:PVT法生長4H-SiC晶體的缺陷形成與摻雜機理研究
報告摘要:本研究采用PVT法制備4H-SiC晶體,系統(tǒng)研究了晶體中的雜質與位錯行為。通過三維建模分析發(fā)現(xiàn),工業(yè)上廣泛使用的4度偏軸籽晶是導致基面位錯(BPD)呈四重對稱分布的主要原因,模擬計算得到的BPD密度與實驗測量結果高度吻合。實驗進一步揭示了電學性質的空間分布規(guī)律:p型和n型碳化硅在軸向與徑向上表現(xiàn)出截然相反的電阻率分布趨勢。此外,研究還發(fā)現(xiàn)過小的徑向溫度梯度極易誘發(fā)多型夾雜現(xiàn)象。通過建立二維全局計算模型,本研究深入分析了生長界面溫度、C/Si比和氮摻雜量隨晶體生長的動態(tài)演化規(guī)律,并綜合考慮了坩堝內氣體交換過程與腐蝕反應的影響,闡明了這些因素對晶體生長速率、溫度場分布、C/Si比及氮氣濃度分布的調控機制。計算結果與實驗觀測一致,基于此提出了PVT生長過程中氮摻雜效率的估算值。
附會議信息:
【會議時間】 2025年9月26-28日
【會議地點】云南·昆明
【指導單位】
第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)
中關村半導體照明工程研發(fā)及產業(yè)聯(lián)盟(CSA)
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導體產業(yè)網(wǎng)(www.huizhouyinshua.cn)
半導體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導體產業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學院半導體研究所
云南大學
山東大學
云南師范大學
昆明理工大學
晶體材料全國重點實驗室
.....
【關鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
【主要方向】
1.化合物半導體單晶與外延材料
(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設計等)
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
(大硅片生長及及應用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機械拋光,摻雜調控離子注入等)
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關鍵裝備
(高純前驅體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設備與材料,檢測設備等)
4.測試評價及AI for Science
(AI 驅動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調控、缺陷實時檢測與修復,多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)
5.光電子器件工藝與應用
(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達,光通信,量子技術等)
6.通訊射頻器件工藝與應用
(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關器件,移動通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機,射頻能量等)
7.能源電子及應用
(風電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費電子,儀器儀表等)
8.綠色廠務及質量管控
(潔凈廠房,高純水制備,化學品供應,特氣供應,廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應及質量管控等)
【程序委員會】
大會主席:惠峰 (云南鍺業(yè))
副主席:陳秀芳(山東大學)、趙璐冰(CASA)
委員:趙德剛(中科院半導體所)、康俊勇(廈門大學)、 徐寶強(昆明理工)、皮孝東(浙江大學)、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學)、李強(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學)、郭杰(云師大)、王茺(云南大學)、邱峰(云南大學)、楊杰(云南大學)、謝自力(南京大學)、葛振華(昆明理工大學)、田陽(昆明理工大學)、魏同波(中科院半導體所)、許福軍(北京大學)、徐明升(山東大學)、孫海定(中國科學技術大學)、田朋飛(復旦大學)、劉玉懷(鄭州大學)、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導體所)、高娜(廈門大學)、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學)、李寶學(云鍺紅外) ......等
【日程安排】

【擬參與單位】
中科院半導體所、鑫耀半導體,南砂晶圓,藍河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學,廈門大學,士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學,西安電子科技大學,中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實驗室,中微公司,矢量集團,晶盛機電,連科半導體,晶澳太陽能 美科太陽能 高景太陽能 中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學,阿特斯陽光電力,山東大學,云南師范大學,中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導體,南砂晶圓、西安聚能超導,蘇州納維,中科院物理所,浙江大學,云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學,深圳平湖實驗室,中科院長春光機所,廣東工業(yè)大學,南方科技大學, 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復旦大學,中國科學技術大學, 西安交通大學,江蘇第三代半導體研究院, 光迅科技,鎵和半導體 全磊光電 新易盛 昆明物理所,科友半導體,STR,河北同光,香港科技大學,深圳納設 中科院蘇州納米所,中科院上海光機所,哈工大等等
【活動參與】
1、注冊費:會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、繳費方式:
①銀行匯款
開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號:336 356 029 261
名 稱:北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司
②在線注冊

掃碼注冊報名
③現(xiàn)場繳費(微信+支付寶)
【論文投稿及報告咨詢】
賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986,linan@casmita.com
【參會參展及商務合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會議酒店】
酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址:中國(云南)自由貿易試驗區(qū)昆明片區(qū)經開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價格:430元/晚(含雙早)
酒店預定聯(lián)系: 陳經理,13759452505(微信同號)
郵箱:13759452505@139.com
