9月26-28日,“2025新一代半導(dǎo)體晶體材料技術(shù)及應(yīng)用大會(huì)”將于云南昆明舉辦。屆時(shí),浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心科創(chuàng)百人計(jì)劃研究員韓學(xué)峰將受邀出席論壇,并帶來了《PVT法生長(zhǎng)4H-SiC晶體的缺陷形成與摻雜機(jī)理研究》的主題報(bào)告,敬請(qǐng)關(guān)注!
嘉賓簡(jiǎn)介
韓學(xué)峰,浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心“科創(chuàng)百人”計(jì)劃研究員。2016年博士畢業(yè)于首爾大學(xué),曾在日本九州大學(xué)、法國格勒諾布爾阿爾卑斯大學(xué)開展博士后研究。長(zhǎng)期從事大尺寸硅及碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中傳熱傳質(zhì)現(xiàn)象與數(shù)據(jù)科學(xué)研究,與國內(nèi)外領(lǐng)先半導(dǎo)體材料企業(yè)建立了深入的合作關(guān)系。創(chuàng)新開發(fā)出偏角生長(zhǎng)計(jì)算模型,基于該模型首先提出使用大籽晶降低基平面位錯(cuò)策略。同時(shí)研發(fā)了多段式電阻加熱技術(shù),助力合作企業(yè)入選杭州獨(dú)角獸企業(yè)。發(fā)表SCI論文40余篇,第一及通訊作者30余篇。獲得授權(quán)發(fā)明專利6項(xiàng)。作為負(fù)責(zé)人承擔(dān)國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目,作為參與單位負(fù)責(zé)人承擔(dān)浙江省科技廳“尖兵”研發(fā)攻關(guān)計(jì)劃項(xiàng)目,浙江省自然基金重大項(xiàng)目,杭州市“西湖明珠工程” 領(lǐng)軍型創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目。入選浙江省海外高層次人才。擔(dān)任晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域權(quán)威SCI期刊《Journal of Crystal Growth》客座編輯,SCI期刊《Crystals》客座編輯,中文核心期刊《人工晶體學(xué)報(bào)》青年編委、碳化硅及相關(guān)材料國際會(huì)議(ICSCRM)組委會(huì)成員、第二十一屆國際晶體生長(zhǎng)大會(huì)(ICCGE-21)分會(huì)主席、第九屆亞洲晶體生長(zhǎng)技術(shù)大會(huì)(CGCT-9)分會(huì)主席、2025年第八屆機(jī)器學(xué)習(xí)與機(jī)器智能國際會(huì)議(MLMI2025)分會(huì)主席。
單位簡(jiǎn)介
浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心成立于2019年9月20日,是新時(shí)代杭州市和浙江大學(xué)全面深化市校合作共建的重大創(chuàng)新平臺(tái),是建設(shè)高水平創(chuàng)新型省份、打造區(qū)域科創(chuàng)高地的重大工程,是服務(wù)浙江打造“重要窗口”推進(jìn)“兩個(gè)先行”的重要舉措。浙江大學(xué)杭州國際科創(chuàng)中心依托研究院、創(chuàng)新工坊在內(nèi)的23個(gè)創(chuàng)新平臺(tái),系統(tǒng)搭建“3全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室+1省技術(shù)創(chuàng)新中心+1省制造業(yè)創(chuàng)新中心+1省級(jí)研究院+9省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(4個(gè)牽頭、5個(gè)參與)+3省工程研究中心+3省國際聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室+1省國際合作基地”創(chuàng)新體系。
報(bào)告前瞻
報(bào)告題目:PVT法生長(zhǎng)4H-SiC晶體的缺陷形成與摻雜機(jī)理研究
報(bào)告摘要:本研究采用PVT法制備4H-SiC晶體,系統(tǒng)研究了晶體中的雜質(zhì)與位錯(cuò)行為。通過三維建模分析發(fā)現(xiàn),工業(yè)上廣泛使用的4度偏軸籽晶是導(dǎo)致基面位錯(cuò)(BPD)呈四重對(duì)稱分布的主要原因,模擬計(jì)算得到的BPD密度與實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)果高度吻合。實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步揭示了電學(xué)性質(zhì)的空間分布規(guī)律:p型和n型碳化硅在軸向與徑向上表現(xiàn)出截然相反的電阻率分布趨勢(shì)。此外,研究還發(fā)現(xiàn)過小的徑向溫度梯度極易誘發(fā)多型夾雜現(xiàn)象。通過建立二維全局計(jì)算模型,本研究深入分析了生長(zhǎng)界面溫度、C/Si比和氮摻雜量隨晶體生長(zhǎng)的動(dòng)態(tài)演化規(guī)律,并綜合考慮了坩堝內(nèi)氣體交換過程與腐蝕反應(yīng)的影響,闡明了這些因素對(duì)晶體生長(zhǎng)速率、溫度場(chǎng)分布、C/Si比及氮?dú)鉂舛确植嫉恼{(diào)控機(jī)制。計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)觀測(cè)一致,基于此提出了PVT生長(zhǎng)過程中氮摻雜效率的估算值。
附會(huì)議信息:
【會(huì)議時(shí)間】 2025年9月26-28日
【會(huì)議地點(diǎn)】云南·昆明
【指導(dǎo)單位】
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)
中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.huizhouyinshua.cn)
半導(dǎo)體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
云南大學(xué)
山東大學(xué)
云南師范大學(xué)
昆明理工大學(xué)
晶體材料全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
.....
【關(guān)鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;
【主要方向】
1.化合物半導(dǎo)體單晶與外延材料
(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍(lán)寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長(zhǎng)及模擬設(shè)計(jì)等)
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
(大硅片生長(zhǎng)及及應(yīng)用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長(zhǎng),原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機(jī)械拋光,摻雜調(diào)控離子注入等)
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長(zhǎng)與加工關(guān)鍵裝備
(高純前驅(qū)體,高純?cè)噭?,高純氣體,高純粉體, 長(zhǎng)晶爐,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生長(zhǎng)裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設(shè)備與材料,檢測(cè)設(shè)備等)
4.測(cè)試評(píng)價(jià)及AI for Science
(AI 驅(qū)動(dòng)的測(cè)試評(píng)價(jià)革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長(zhǎng)智能調(diào)控、缺陷實(shí)時(shí)檢測(cè)與修復(fù),多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)
5.光電子器件工藝與應(yīng)用
(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測(cè)器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達(dá),光通信,量子技術(shù)等)
6.通訊射頻器件工藝與應(yīng)用
(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關(guān)器件,移動(dòng)通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機(jī),射頻能量等)
7.能源電子及應(yīng)用
(風(fēng)電&光伏&儲(chǔ)能新能源,電動(dòng)汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機(jī)節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費(fèi)電子,儀器儀表等)
8.綠色廠務(wù)及質(zhì)量管控
(潔凈廠房,高純水制備,化學(xué)品供應(yīng),特氣供應(yīng),廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應(yīng)及質(zhì)量管控等)
【程序委員會(huì)】
大會(huì)主席:惠峰 (云南鍺業(yè))
副主席:陳秀芳(山東大學(xué))、趙璐冰(CASA)
委員:趙德剛(中科院半導(dǎo)體所)、康俊勇(廈門大學(xué))、 徐寶強(qiáng)(昆明理工)、皮孝東(浙江大學(xué))、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導(dǎo)體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學(xué))、李強(qiáng)(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學(xué))、郭杰(云師大)、王茺(云南大學(xué))、邱峰(云南大學(xué))、楊杰(云南大學(xué))、謝自力(南京大學(xué))、葛振華(昆明理工大學(xué))、田陽(昆明理工大學(xué))、魏同波(中科院半導(dǎo)體所)、許福軍(北京大學(xué))、徐明升(山東大學(xué))、孫海定(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué))、田朋飛(復(fù)旦大學(xué))、劉玉懷(鄭州大學(xué))、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導(dǎo)體所)、高娜(廈門大學(xué))、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學(xué))、李寶學(xué)(云鍺紅外) ......等
【日程安排】
【擬參與單位】
中科院半導(dǎo)體所、鑫耀半導(dǎo)體,南砂晶圓,藍(lán)河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學(xué),廈門大學(xué),士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學(xué),西安電子科技大學(xué),中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實(shí)驗(yàn)室,中微公司,矢量集團(tuán),晶盛機(jī)電,連科半導(dǎo)體,晶澳太陽能 美科太陽能 高景太陽能 中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導(dǎo)體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學(xué),阿特斯陽光電力,山東大學(xué),云南師范大學(xué),中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導(dǎo)體,南砂晶圓、西安聚能超導(dǎo),蘇州納維,中科院物理所,浙江大學(xué),云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學(xué),深圳平湖實(shí)驗(yàn)室,中科院長(zhǎng)春光機(jī)所,廣東工業(yè)大學(xué),南方科技大學(xué), 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復(fù)旦大學(xué),中國科學(xué)技術(shù)大學(xué), 西安交通大學(xué),江蘇第三代半導(dǎo)體研究院, 光迅科技,鎵和半導(dǎo)體 全磊光電 新易盛 昆明物理所,科友半導(dǎo)體,STR,河北同光,香港科技大學(xué),深圳納設(shè) 中科院蘇州納米所,中科院上海光機(jī)所,哈工大等等
【活動(dòng)參與】
1、注冊(cè)費(fèi):會(huì)議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊(cè)報(bào)名2600元;(含會(huì)議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、繳費(fèi)方式:
①銀行匯款
開戶行:中國銀行北京科技會(huì)展中心支行
賬 號(hào):336 356 029 261
名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司
②在線注冊(cè)
掃碼注冊(cè)報(bào)名
③現(xiàn)場(chǎng)繳費(fèi)(微信+支付寶)
【論文投稿及報(bào)告咨詢】
賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986,linan@casmita.com
【參會(huì)參展及商務(wù)合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會(huì)議酒店】
酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址:中國(云南)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價(jià)格:430元/晚(含雙早)
酒店預(yù)定聯(lián)系: 陳經(jīng)理,13759452505(微信同號(hào))
郵箱:13759452505@139.com