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清華大學(xué)化學(xué)系團(tuán)隊(duì)合作開(kāi)發(fā)出理想的極紫外（EUV）光刻膠材料

國(guó)內(nèi)首條百噸級(jí)半導(dǎo)體KrF光刻膠樹(shù)脂雙產(chǎn)線建成

重慶奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目8英寸生產(chǎn)線首臺(tái)光刻機(jī)設(shè)備搬入！

中國(guó)科學(xué)院微電子研究所在EUV光刻收集鏡紅外輻射抑制方面取得新進(jìn)展

舜宇?yuàn)W來(lái)12英寸AR眼鏡微納光學(xué)項(xiàng)目搬入首臺(tái)光刻機(jī)

某單位SIC光刻版采購(gòu)項(xiàng)目公開(kāi)招標(biāo)公告

國(guó)產(chǎn)高端光刻膠材料研發(fā)商?hào)|凱芯半導(dǎo)體完成A輪融資

上海新陽(yáng)：目前建成光刻膠產(chǎn)能100噸，KrF光刻膠多款產(chǎn)品批量銷售

英國(guó)南安普敦大學(xué)開(kāi)設(shè)全球第二家電子束光刻工廠

中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目（第二次）公開(kāi)招標(biāo)公告

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復(fù)旦大學(xué)先進(jìn)光刻膠材料教育部工程研究中心正式成立

俄羅斯完成首臺(tái)350nm光刻機(jī)開(kāi)發(fā)，將批量生產(chǎn)

浙江一半導(dǎo)體項(xiàng)目，首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入

浙江一半導(dǎo)體項(xiàng)目首臺(tái)光刻機(jī)成功搬入！

英特爾首批兩臺(tái)High NA EUV光刻機(jī)投產(chǎn)，單季生產(chǎn)3萬(wàn)片晶圓

杭華股份擬收購(gòu)浙江迪克60%股權(quán) 強(qiáng)化顯示光刻膠領(lǐng)域布局

日本加強(qiáng)出口管制！42家中國(guó)實(shí)體列入“黑名單”，涉及處理器、光刻機(jī)等領(lǐng)域

九奕半導(dǎo)體設(shè)備取得光刻機(jī)送料機(jī)構(gòu)專利，使硅片涂布更均勻

山東發(fā)布新材料產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新行動(dòng)計(jì)劃，第三代半導(dǎo)體材料、光刻膠等被劃重點(diǎn)

中芯微取得半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī)專利，可實(shí)現(xiàn)移動(dòng)目的

大族安萊微米級(jí)光刻機(jī)項(xiàng)目開(kāi)工

深圳晶源申請(qǐng)光刻膠模型優(yōu)化方法專利，能夠解決模型中存在的過(guò)擬合現(xiàn)象和一致性不佳的技術(shù)問(wèn)題

粵芯半導(dǎo)體申請(qǐng)光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)方法專利，平衡晶圓中切割道與芯片的研磨速率

中芯國(guó)際申請(qǐng)光刻機(jī)焦距監(jiān)控相關(guān)專利，實(shí)現(xiàn)在線焦距監(jiān)控且對(duì)產(chǎn)品晶圓圖形影響小

尼康官宣旗下首款半導(dǎo)體后端工藝用光刻機(jī)

Nature Photonics | 基于深紫外microLED顯示的無(wú)掩膜光刻技術(shù)與應(yīng)用示范

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，已通過(guò)量產(chǎn)驗(yàn)證！

中科大孫海定iGaN實(shí)驗(yàn)室研究三維垂直集成microLED陣列實(shí)現(xiàn)無(wú)掩膜深紫外光刻新技術(shù)

浙江奧首材料科技申請(qǐng)一種用于半導(dǎo)體化合物光刻膠的剝離液專利，減少剝離液中的腐蝕

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