2025年4月23日上午，來自學術界、產(chǎn)業(yè)界的二十幾名專家學者齊聚復旦大學，共同見證“復旦大學先進光刻膠材料教育部工程研究中心”正式揭牌成立。該中心的成立是復旦大學服務國家重大戰(zhàn)略需求、推動產(chǎn)學研深度融合的重要舉措，旨在攻克高端光刻膠材料的“卡脖子”技術難題，助力我國集成電路產(chǎn)業(yè)邁向全球價值鏈高端。復旦大學副校長姜育剛出席中心成立儀式并致辭，復旦大學微電子學院院長張衛(wèi)主持成立儀式。 

聚焦國家戰(zhàn)略需求，打造自主創(chuàng)新高地 

姜育剛副校長在致辭中表示，光刻膠作為芯片制造的核心材料，其技術水平直接決定了集成電路的制造工藝精度和產(chǎn)業(yè)競爭力。他強調(diào)，復旦大學整合校內(nèi)集成電路、化學、高分子、材料等多學科優(yōu)勢力量，成立這一研究中心，是學校在“教育強國打頭陣，自主創(chuàng)新當尖兵”使命下的重要實踐。希望中心聚焦光刻膠材料“從實驗室到生產(chǎn)線”的工程化難題，加速國產(chǎn)高端光刻膠的自主可控進程，為國內(nèi)芯片制造企業(yè)提供穩(wěn)定可靠的工藝技術與材料研究支撐。

產(chǎn)學研協(xié)同創(chuàng)新，凝聚行業(yè)頂尖力量 

儀式上，復旦大學研究生院副院長梅永豐宣讀了第一屆技術委員會名單，復旦大學人事處處長熊易寒為委員頒發(fā)聘書。上海華力集成電路制造有限公司周文湛擔任委員會主任，蘇州潤邦半導體馬曉明博士、浙江新盈電子方書農(nóng)博士擔任副主任，十余位行業(yè)領軍專家擔任委員。 

隨后，姜育剛副校長與科研院基地建設與成果管理處處長張峰、微電子學院黨委書記羅凌、微電子學院院長張衛(wèi)、中心主任伍強、技術委員會主任周文湛共同為研究中心揭牌，標志著這一重要平臺的正式啟動。

專題研討共謀發(fā)展，前沿洞見引領未來

揭牌儀式后，專題發(fā)言環(huán)節(jié)由中心主任伍強教授主持。來自上海華力、蘇州潤邦、騰訊量子實驗室、張江國家實驗室等單位的十位專家圍繞光刻膠材料研發(fā)、計算光刻技術、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等主題展開深入研討。

技術委員會主任、上海華力集成電路制造有限公司周文湛先生指出，光刻膠國產(chǎn)化需學術界與產(chǎn)業(yè)界深度協(xié)作，以模塊化研發(fā)與優(yōu)化思路，結合計算光刻、量子化學、人工智能（AI）等技術手段，實現(xiàn)先進節(jié)點光刻技術升級。

 騰訊量子實驗室研究員馬星宇分享了AI在計算光刻與光刻膠建模中的應用前景；浙江新盈電子董事長方書農(nóng)博士、蘇州潤邦半導體董事長馬曉明博士分別闡述了國產(chǎn)光刻膠樹脂材料對產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的賦能作用；徐州博康首席科學家冉瑞成博士提出建立材料配方的系統(tǒng)性模型與數(shù)據(jù)庫，建立知識產(chǎn)權的科學管理機制，以加快上下游的高效合作；合光光掩模科技首席技術官岳力挽與市場戰(zhàn)略部經(jīng)理胡華勇先生分析了光掩模與光刻膠材料的發(fā)展趨勢；張江國家實驗室朱慧娥研究員剖析了國外光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程及國內(nèi)研發(fā)面臨的挑戰(zhàn)；上海集成電路制造創(chuàng)新中心閻江博士解讀了基于物理模型的光學鄰近效應修正（OPC）匹配光刻膠技術路線。 

最后，工程中心主任伍強教授在總結中提出“設計-基礎設施協(xié)同優(yōu)化（DICO）”技術總路線，并分享了關鍵研究案例。他表示，中心將秉持“開放協(xié)同”理念，聯(lián)合產(chǎn)學研力量推動技術轉(zhuǎn)化，為中國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動能。 

與會專家們還提議增加光刻材料、工藝等相關專業(yè)的人才培養(yǎng)，并就后續(xù)合作展開了熱烈討論。

承載使命，邁向新征程

恰逢復旦大學建校120周年，先進光刻膠材料教育部工程研究中心的成立，不僅是學校推進“新工科”建設的重要舉措，更是國家集成電路產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新的重要探索。此次大會的圓滿舉辦，為高端光刻膠材料的國產(chǎn)化之路開啟了全新篇章。未來，中心將依托復旦大學的多學科優(yōu)勢，匯聚產(chǎn)學研智慧，加速技術攻關與成果轉(zhuǎn)化，助力我國在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)更重要的地位。

 （來源：復旦大學微電子學院）