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ABM全自研光刻機(jī)量產(chǎn)項(xiàng)目落戶順德北滘

杭州誕生首臺國產(chǎn)商業(yè)化電子束光刻機(jī)“羲之”

芯上微裝第500臺步進(jìn)光刻機(jī)成功交付

佳能新光刻機(jī)工廠9月投產(chǎn)，主攻成熟制程及封裝應(yīng)用

物元半導(dǎo)體首臺光刻機(jī)搬入，將于2025年四季度量產(chǎn)！

佳能開設(shè)21年來首家光刻機(jī)設(shè)備工廠，9月開始運(yùn)營

重慶奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目8英寸生產(chǎn)線首臺光刻機(jī)設(shè)備搬入！

舜宇奧來12英寸AR眼鏡微納光學(xué)項(xiàng)目搬入首臺光刻機(jī)

中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機(jī)采購項(xiàng)目（第二次）公開招標(biāo)公告

中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機(jī)采購項(xiàng)目（第二次）公開招標(biāo)公告

俄羅斯完成首臺350nm光刻機(jī)開發(fā)，將批量生產(chǎn)

浙江一半導(dǎo)體項(xiàng)目，首臺光刻機(jī)成功搬入

浙江一半導(dǎo)體項(xiàng)目首臺光刻機(jī)成功搬入！

英特爾首批兩臺High NA EUV光刻機(jī)投產(chǎn)，單季生產(chǎn)3萬片晶圓

日本加強(qiáng)出口管制！42家中國實(shí)體列入“黑名單”，涉及處理器、光刻機(jī)等領(lǐng)域

九奕半導(dǎo)體設(shè)備取得光刻機(jī)送料機(jī)構(gòu)專利，使硅片涂布更均勻

中芯微取得半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī)專利，可實(shí)現(xiàn)移動目的

大族安萊微米級光刻機(jī)項(xiàng)目開工

粵芯半導(dǎo)體申請光刻機(jī)對準(zhǔn)方法專利，平衡晶圓中切割道與芯片的研磨速率

中芯國際申請光刻機(jī)焦距監(jiān)控相關(guān)專利，實(shí)現(xiàn)在線焦距監(jiān)控且對產(chǎn)品晶圓圖形影響小

尼康官宣旗下首款半導(dǎo)體后端工藝用光刻機(jī)

工信部推廣國產(chǎn)DUV光刻機(jī)，最小套刻精度≤8nm

冠石半導(dǎo)體入場首臺先進(jìn)電子束掩模版光刻機(jī)

三井化學(xué)將量產(chǎn)光刻薄膜新品，支持ASML下一代光刻機(jī)

光刻機(jī)制造商ASML擴(kuò)建計(jì)劃獲表決通過

俄羅斯首臺光刻機(jī)制造完成：可生產(chǎn)350納米工藝芯片

宜興中車時(shí)代中低壓功率器件項(xiàng)目首臺光刻機(jī)搬入

ASML High-NA EUV光刻機(jī)取得突破，成功印刷10nm線寬圖案

國內(nèi)首臺大芯片先進(jìn)封裝專用光刻機(jī)交付入廠

中荷雙方重點(diǎn)就光刻機(jī)輸華和加強(qiáng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)合作等議題深入交換意見

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