7月14日11時(shí)38分,重慶奧松半導(dǎo)體特色芯片產(chǎn)業(yè)基地(下稱“奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目”)迎來(lái)具有里程碑意義的時(shí)刻——8英寸生產(chǎn)線首臺(tái)光刻機(jī)設(shè)備,在眾人關(guān)切注視的目光中平穩(wěn)進(jìn)場(chǎng)。
首臺(tái)光刻機(jī)的成功搬入,意味著產(chǎn)線正式進(jìn)入設(shè)備安裝調(diào)試階段,距離8月底通線試產(chǎn)、第四季度產(chǎn)能爬坡并交付客戶的既定目標(biāo)指日可待。這一目標(biāo)的實(shí)現(xiàn),將實(shí)現(xiàn)各類MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接,對(duì)重慶乃至整個(gè)集成電路行業(yè)都具有深遠(yuǎn)意義。
奧松半導(dǎo)體項(xiàng)目計(jì)劃總投資35億,涵蓋8英寸特色傳感器芯片量產(chǎn)線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發(fā)線、智能傳感器創(chuàng)新研發(fā)中心、車規(guī)級(jí)傳感器可靠性檢測(cè)中心、產(chǎn)學(xué)研科研中心及奧松半導(dǎo)體研發(fā)辦公大樓等。技術(shù)能力覆蓋各類MEMS特色工藝,形成了一個(gè)完整、高效的產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)各類MEMS半導(dǎo)體傳感器產(chǎn)品從研發(fā)到量產(chǎn)的無(wú)縫銜接,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供全方位支持。
自2024年取得施工許可證以來(lái),項(xiàng)目建設(shè)便開(kāi)啟了高效推進(jìn)模式。2025年4月,所有建筑主體順利封頂,展現(xiàn)出強(qiáng)大的執(zhí)行力和高效的組織協(xié)調(diào)能力。而在封頂之后,僅僅3個(gè)多月,生產(chǎn)線核心裝備光刻機(jī)便成功入駐,項(xiàng)目隨之步入設(shè)備安裝調(diào)試階段。這一系列快速推進(jìn)的成果,充分展現(xiàn)了“科學(xué)城速度”,彰顯了在項(xiàng)目建設(shè)管理、資源整合等方面的卓越實(shí)力。
接下來(lái)幾天,將陸續(xù)搬入用于晶圓制造、封裝測(cè)試、模塊生產(chǎn)、系統(tǒng)應(yīng)用等各類工藝和輔助設(shè)備,全部設(shè)備計(jì)劃于月底前搬入完成,第2臺(tái)光刻機(jī)也將于8月搬入。待一期項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后,將形成每月10000 - 20000片晶圓的產(chǎn)能,為市場(chǎng)提供穩(wěn)定、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品供應(yīng),滿足不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求。