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浙江奧首材料科技申請一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液專利,減少剝離液中的腐蝕

日期:2024-09-19 閱讀:264
核心提示:天眼查知識產(chǎn)權信息顯示,浙江奧首材料科技有限公司申請一項名為一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途,公開號

天眼查知識產(chǎn)權信息顯示,浙江奧首材料科技有限公司申請一項名為“一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途“,公開號 CN202410880916.4,申請日期為 2024 年 7 月。

專利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種用于半導體化合物光刻膠的剝離液、其制備方法及用途。所述的光刻膠的剝離液,按照重量份計算,包括如下組分:有機胺 1020 份;潤濕劑 1030 份;有機溶劑 5080 份;緩蝕劑 0.21 份。本發(fā)明采用了復合緩蝕劑體系,其中的巰基可以較好的吸附在砷化鎵表面,形成較好的保護層,同時可以對蝕刻液中游離的砷離子進行螯合,進一步減少腐蝕;同時氮唑類的緩蝕劑可以吸附在鎵離子上,在表面形成互補的保護層,進而減少了剝離液中的腐蝕。采用復合極性有機溶劑體系,能夠提高各物質(zhì)的溶解性的同時,提高溶解在剝離液中的光刻膠的分散性。

 

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