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北方華創(chuàng)申請工藝腔室及半導體工藝設備專利，雙重密封提高射頻線圈處的密封性

北方華創(chuàng)“上電極裝置及半導體工藝設備”專利公布

上海積塔半導體取得晶圓承載裝置及應用其的半導體工藝設備專利，避免晶圓拿取時破碎

北方華創(chuàng)“一種腔室清潔方法及半導體工藝設備”專利公布

北方華創(chuàng)“工藝氣體噴嘴及半導體工藝腔室”專利公布

北方華創(chuàng)“一種進氣管的清洗方法及半導體工藝設備”專利公布

簡述半導體工藝與制造裝備技術(shù)發(fā)展趨勢

拉普拉斯光伏及半導體工藝設備研發(fā)制造基地項目簽約落戶，計劃投資15億元

DB HiTek 將采用硅基氮化鎵技術(shù)改進 8 英寸半導體工藝

北方華創(chuàng)王顯剛：化合物半導體工藝設備解決方案

啟方半導體基于二代0.13微米嵌入式閃存技術(shù)的汽車半導體工藝即將量產(chǎn)

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