近日，西湖儀器發(fā)布攻克了超薄片單晶金剛石剝離技術(shù)，成功剝離出厚度<100μm的單晶金剛石超薄片。該技術(shù)在單晶金剛石加工領(lǐng)域帶來了顛覆性的創(chuàng)新突破，不僅極大地降低生產(chǎn)成本，更將大幅提升加工效率，為超薄片單晶金剛石在高端電子、量子科技、高端光學(xué)窗口等多個(gè)前沿科技領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。

超薄片單晶金剛石

西湖儀器研發(fā)的激光隱切技術(shù)利用激光在材料內(nèi)部進(jìn)行非接觸改性加工，能夠精確控制激光在材料內(nèi)部的作用位置，從而實(shí)現(xiàn)超薄金剛石單晶片的分離。該技術(shù)可兼容多種加工尺寸，分片效率高，材料損耗小。無論加工1英寸還是未來的4英寸、6英寸金剛石，材料損耗始終控制在100μm甚至更小水平；相較傳統(tǒng)激光剝離，該技術(shù)極大提升了加工效率，以加工1英寸為例，耗時(shí)<30min。

超薄片單晶金剛石的應(yīng)用前景

高端電子領(lǐng)域：金剛石基高功率器件（如SBD、FET）、熱管理材料（如金剛石熱沉、GaN-on-Diamond）以及高頻射頻器件等。

光電顯示領(lǐng)域：精密光學(xué)測(cè)量、強(qiáng)激光加工設(shè)備和極端環(huán)境下的化學(xué)過程監(jiān)控等光學(xué)窗口材料。

量子科技領(lǐng)域：基于金剛石NV色心的量子傳感器、量子計(jì)算等。