天眼查知識產權信息顯示，浙江晶盛機電股份有限公司取得一項名為“晶圓形貌測量方法及設備“，授權公告號CN202410359387.3，申請日期為2024年3月。

專利摘要顯示，本發(fā)明涉及晶圓測量技術領域，具體公開了一種晶圓形貌測量方法及設備，該晶圓形貌測量方法包括S1、獲取待測晶圓的測量數據；S2、基于測量數據和數據庫中的仿真晶圓進行匹配，確定匹配晶圓；S3、根據匹配晶圓獲取相應的重力變形量；S4、基于待測晶圓的測量數據和目標晶圓的重力變形量確定待測晶圓的實際形貌。上述設置提高了晶圓真實形貌的準確性。

來源：金融界