單晶磷化銦(InP)因其優(yōu)異的光電性能在光電領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注。然而，由于應(yīng)用領(lǐng)域的特殊性，對其表面質(zhì)量的要求極為苛刻。InP固有的柔韌性與脆性的顯著差異為實現(xiàn)無損傷的高質(zhì)量表面帶來了巨大挑戰(zhàn)。
9月26-28日，“2025新一代半導(dǎo)體晶體材料技術(shù)及應(yīng)用大會”將于云南昆明舉辦。會議在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）指導(dǎo)下，由賽迪智庫集成電路研究所、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、云南大學(xué)、昆明理工大學(xué)等單位支持，云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聯(lián)合主辦，云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司共同承辦。會議將圍繞新一代大尺寸半導(dǎo)體材料在功率半導(dǎo)體大規(guī)模制造過程中，關(guān)鍵工藝及裝備、器件設(shè)計與制造、關(guān)鍵材料、綠色廠務(wù)及產(chǎn)品開發(fā)與創(chuàng)新應(yīng)用，邀請產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)專家、高校科研院所及知名企業(yè)代表共同深入探討，探尋功率半導(dǎo)體最新技術(shù)進展，分享生產(chǎn)制造過程中全流程優(yōu)化方案，共促功率半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。
屆時，昆明理工大學(xué)校聘副教授、云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司在職博士后鄧家云受邀將出席會議，并帶來《磷化銦晶圓力學(xué)性能與加工性能研究：理論計算、分子動力學(xué)仿真、實驗驗證》的主題報告，從力學(xué)性能的各向異性理論計算、分子動力學(xué)仿真、研磨實驗驗證等多個方面探討不同晶面類型的各向異性及加工性能和損傷機制，系統(tǒng)揭示了磷化銦(InP)不同晶面((100)/(110)/(111))在研磨加工中的材料去除機制與表面質(zhì)量差異，敬請關(guān)注！
嘉賓簡介
鄧家云，校聘副教授，碩士生導(dǎo)師，云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司，云南省“興滇英才”青年人才獲得者，云南省“彩云博士后”創(chuàng)新支持項目獲得者，2022年于廣東工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院獲工學(xué)博士學(xué)位并于同年以高層次引進人才身份進入學(xué)院工作。研究領(lǐng)域主要為半導(dǎo)體晶片超精密平坦化加工，主要包括超光滑平坦化加工設(shè)備的研制與開發(fā)、研磨加工、化學(xué)機械拋光加工機理及工藝優(yōu)化研究等。主持國家自然科學(xué)基金項目1項，云南省基金面上項目2項，國重開放課題1項，發(fā)表高水平論文31篇，其中SCI論文24篇，EI論文3篇；申請/授權(quán)專利10項。目前，主要研究工作集中在學(xué)科交叉前沿，致力于研究單晶磷化銦、單晶藍(lán)寶石、單晶SiC、單晶GaN、單晶金剛石等半導(dǎo)體晶片的超精密平坦化加工(研磨、磨削、化學(xué)機械拋光)等，為我國攻克半導(dǎo)體芯片制造“卡脖子”難題提供有力技術(shù)支撐。
昆明理工大學(xué)是云南省綜合性重點大學(xué)，是云南省規(guī)模最大、辦學(xué)層次和類別齊全的重點大學(xué)，現(xiàn)有工程學(xué)、材料等11個學(xué)科進入ESI 排名全球前1%。報告人所在機電工程學(xué)院擁有云南省先進裝備智能制造技術(shù)重點實驗室、云南省先進裝備智能維護工程研究中心、云南省高校智能控制及應(yīng)用實驗室、云南省高校工業(yè)機器人技術(shù)工程研究中心等8個省廳級重點實驗室和工程研究中心，并擁有光機電液系統(tǒng)集成與控制研究所、數(shù)字化設(shè)計與制造研究所、機器人技術(shù)創(chuàng)新團隊等10余個科研團隊。學(xué)院在機械制造方面具有較強的研究力量，硬件設(shè)施完善齊備，研發(fā)場地充足，實驗設(shè)備先進豐富。報告人所在的機械工程學(xué)科擁有機械工程一級學(xué)科博士點、博士后科研流動站，是云南省高校一流學(xué)科，在第五輪學(xué)科評估為B，進入全國學(xué)科排位前20%，支撐工程學(xué)科進入ESI 排名前1%。報告人所在的光機電液系統(tǒng)與先進制造技術(shù)團隊，現(xiàn)有教師17人(其中：教授4 人，副教授7人，13人具有博士學(xué)位)，在讀博士生5人、碩士生80余人。近五年新增主持國家自然科學(xué)基金8項，省部級重點項目10余項，企業(yè)委托項目5 項。擁有高性能服務(wù)器、日本精密化學(xué)機械拋光機、單點金剛石車床、KD24BX平面精密研磨拋光機等超精密加工設(shè)備、白光干涉儀等檢測設(shè)備。
報告人也是云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司(簡稱云南鍺業(yè))在職博士后，合作導(dǎo)師為惠峰研究員(公司首席科學(xué)家、中科院半導(dǎo)體所研究員)和那靖教授(教育部長江學(xué)者，國家自然科學(xué)基金優(yōu)秀青年科學(xué)基金獲得者)。云南鍺業(yè)及其控股子公司云南中科鑫圓晶體材料有限公司、云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司主要從事砷化鎵、磷化銦、銻化鎵、銻化銦、砷化銦等半導(dǎo)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是我國著名的III-V 族化合物半導(dǎo)體材料生產(chǎn)商和供應(yīng)商，是華為戰(zhàn)略投資入股企業(yè)，華為海思InP、GaAs產(chǎn)品配套的生產(chǎn)商和供應(yīng)商，是國內(nèi)最具有產(chǎn)業(yè)化實力III-V 族高端光電半導(dǎo)體材料研發(fā)平臺和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線。目前在國內(nèi)擁有最大規(guī)模的III-V 族高端光電半導(dǎo)體材料研發(fā)平臺和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線，涵蓋單晶生長、晶片加工、晶片測試檢驗等流程。公司技術(shù)中心于2010年被認(rèn)定為云南省企業(yè)技術(shù)中心，于2015年12月被認(rèn)定為國家級企業(yè)技術(shù)中心，2015 年與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成立“光電半導(dǎo)體材料聯(lián)合實驗室”，創(chuàng)建了以中國科學(xué)院院士、研究員等為核心的科研團隊，建立了“產(chǎn)學(xué)研”創(chuàng)新平臺，具有雄厚的實力。先后承擔(dān)國家科技支撐計劃、國家863科技計劃課題、省市級科技計劃項目等十余項；先后獲得2014年度云南省技術(shù)發(fā)明一等獎、2011年、2015年兩次獲云南省標(biāo)準(zhǔn)化創(chuàng)新貢獻獎、2011年度科技創(chuàng)業(yè)獎、云南省科學(xué)技術(shù)進步獎、全國半導(dǎo)體材料標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)秀獎等各級獎勵10余項。
附會議信息：
【會議時間】 2025年9月26-28日
【會議地點】云南·昆明
【指導(dǎo)單位】
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）
中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)（www.huizhouyinshua.cn）
半導(dǎo)體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
云南大學(xué)
山東大學(xué)
云南師范大學(xué)
昆明理工大學(xué)
晶體材料全國重點實驗室
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【關(guān)鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究；
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究；
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究；
【主要方向】
1.化合物半導(dǎo)體單晶與外延材料
（砷化鎵，磷化銦，氮化鎵，碳化硅，氮化鋁，氧化鎵，氮化硼，藍(lán)寶石，鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設(shè)計等）
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
（大硅片生長及及應(yīng)用，直拉法或區(qū)熔法等單晶生長，原料提純，GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜，切片與機械拋光，摻雜調(diào)控離子注入等）
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關(guān)鍵裝備
（高純前驅(qū)體，高純試劑，高純氣體，高純粉體， 長晶爐，MOCVD, MBE, LPE，PVT 等外延生長裝備，Mo源，MBE 源， 石墨，切割，研磨及拋光設(shè)備與材料，檢測設(shè)備等）
4.測試評價及AI for Science
（AI 驅(qū)動的測試評價革新， 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調(diào)控、缺陷實時檢測與修復(fù)，多尺度建模，綠色制造優(yōu)化 等）
5.光電子器件工藝與應(yīng)用
（發(fā)光二極管，激光二極管，光電探測器件，太陽能電池，照明與顯示，激光雷達(dá)，光通信，量子技術(shù)等）
6.通訊射頻器件工藝與應(yīng)用
（功率放大器，低噪聲放大器，濾波器，開關(guān)器件，移動通信，衛(wèi)星通信，低空飛行器，無人機，射頻能量等）
7.能源電子及應(yīng)用
（風(fēng)電&光伏&儲能新能源，電動汽車，數(shù)據(jù)中心，工業(yè)電源，電機節(jié)能，軌道交通，智能電網(wǎng)，航空航天，工業(yè)控制，變頻家電，消費電子，儀器儀表等）
8.綠色廠務(wù)及質(zhì)量管控
（潔凈廠房，高純水制備，化學(xué)品供應(yīng)，特氣供應(yīng)，廢氣處理及排放，廢液處理，大宗氣體供應(yīng)及質(zhì)量管控等）
【程序委員會】
大會主席：惠峰 （云南鍺業(yè)）
副主席：陳秀芳（山東大學(xué)）、趙璐冰（CASA)
委員：趙德剛（中科院半導(dǎo)體所）、康俊勇（廈門大學(xué)）、 徐寶強（昆明理工）、皮孝東（浙江大學(xué)）、耿博（CASA)、王軍喜（中科院半導(dǎo)體所）、孫錢（中科院蘇州納米所）、王垚浩（南砂晶圓)、 涂潔磊（云師大）、王宏興（西交大）、彭燕（山東大學(xué)）、李強（西交大）、寧靜（西電）、修向前（南京大學(xué)）、郭杰（云師大）、王茺（云南大學(xué)）、邱峰（云南大學(xué)）、楊杰（云南大學(xué)）、謝自力（南京大學(xué)）、葛振華（昆明理工大學(xué)）、田陽（昆明理工大學(xué)）、魏同波（中科院半導(dǎo)體所）、許福軍（北京大學(xué)）、徐明升（山東大學(xué)）、孫海定（中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)）、田朋飛（復(fù)旦大學(xué)）、劉玉懷（鄭州大學(xué)）、朱振（浪潮華光）、楊曉光（中科院半導(dǎo)體所）、高娜（廈門大學(xué)）、陳飛宏（云南鍺業(yè)）、康森（天通控股）、解楠（賽迪研究院 )、房玉龍（中電科十三所）、鄧家云（昆明理工大學(xué)）、李寶學(xué)（云鍺紅外） ......等
【日程安排】
【活動參與】
1、注冊費：會議通票2800元；早鳥票：9月20日前注冊報名2600元；（含會議資料袋，9月27日午餐、晚宴，9月28日午餐等 ）。
2、繳費方式：
①銀行匯款
開戶行：中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號：336 356 029 261
名 稱：北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
②在線注冊
掃碼注冊報名
③現(xiàn)場繳費（微信+支付寶）
【論文投稿及報告咨詢】
賈老師:18310277858，jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986，linan@casmita.com
【參會參展及商務(wù)合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會議酒店】
酒店名稱：昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址：中國（云南）自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價格：430元/晚（含雙早）
酒店預(yù)定聯(lián)系: 陳經(jīng)理，13759452505(微信同號）
郵箱：13759452505@139.com
公司用垂直梯度凝固(VGF)方法生長6英寸直徑的GaAs單晶和4英寸直徑的InP單晶，擁用國際市場上最先進的GaAs、InP 單晶切、磨、拋和清洗加工設(shè)備。公司擁有17000 m2 潔凈廠房，設(shè)備包括內(nèi)圓鋸切割機、端面磨床機、多線切割機、全自動倒角機、單/雙面拋光機、全自動清洗機、清洗封裝設(shè)備等。此外，公司還擁有多臺高端精密檢測設(shè)備，如：Candela CS920 顆粒度測試儀，可以檢驗拋光清洗后的晶片表面顆粒度(最小可到 0.08μm)、粗糙度、細(xì)劃傷。TROPEL 翹曲度測試儀，檢測晶片表面總厚度差TTV、彎曲度BOW、翹曲度WARP、確保生產(chǎn)過程的可靠性和穩(wěn)定性。
