不久前，廣東工業(yè)大學(xué)省部共建精密電子制造技術(shù)與裝備國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室傳來(lái)突破性進(jìn)展。陳新/陳云教授團(tuán)隊(duì)聯(lián)合蘇州邁為科技股份有限公司等行業(yè)龍頭企業(yè)，在Mini/MicroLED顯示領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)與裝備研發(fā)上取得重大突破，相關(guān)成果已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，助力我國(guó)新型顯示產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

Mini/Micro LED 作為新一代顯示技術(shù)，兼具高亮度、高對(duì)比度、低功耗等優(yōu)勢(shì)，符合 “雙碳” 戰(zhàn)略導(dǎo)向，在消費(fèi)電子、高端顯示等領(lǐng)域市場(chǎng)潛力巨大。然而，高效率、高良率的芯片巨量轉(zhuǎn)移及鍵合技術(shù)，長(zhǎng)期以來(lái)是國(guó)際技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)焦點(diǎn)。

在國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃  “智能機(jī)器人” 專項(xiàng)支持下，廣東工業(yè)大學(xué)團(tuán)隊(duì)發(fā)明二維高頻協(xié)同飛行刺晶新原理，通過(guò)  “飛行刺晶提速度、宏微復(fù)合保精度、定向補(bǔ)償增良率”   的技術(shù)組合拳，構(gòu)建起覆蓋轉(zhuǎn)移方法、鍵合工藝、核心部件、系統(tǒng)控制的全鏈條自主技術(shù)體系。針對(duì)更小尺寸的 Micro LED   轉(zhuǎn)移難題，團(tuán)隊(duì)進(jìn)一步突破高速精密對(duì)位、激光工藝協(xié)同、誤差補(bǔ)償?shù)汝P(guān)鍵技術(shù)，累計(jì)獲得 20 余項(xiàng)中美發(fā)明專利授權(quán)。

通過(guò)與泛半導(dǎo)體裝備頭部企業(yè)蘇州邁為股份的深度產(chǎn)學(xué)研合作，科研成果迅速轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力。雙方聯(lián)合研發(fā)的飛行刺晶巨量轉(zhuǎn)移機(jī)器人，實(shí)現(xiàn)了性能指標(biāo)的跨越式提升，顯著降低原材料消耗與制造成本。

該裝備不僅在技術(shù)指標(biāo)上達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，更實(shí)現(xiàn)了 Mini LED 巨量轉(zhuǎn)移生產(chǎn)線的批量出貨，為我國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)裝上 “中國(guó)芯”。目前，相關(guān)裝備已在大屏顯示、會(huì)議一體機(jī)、家庭影院等商用與消費(fèi)場(chǎng)景中規(guī)?；瘧?yīng)用，推動(dòng)我國(guó)高清顯示產(chǎn)業(yè)升級(jí)。

在突破  Mini LED 技術(shù)的同時(shí)，廣東工業(yè)大學(xué)和蘇州邁為股份子公司邁為技術(shù)（珠海）有限公司組成的聯(lián)合攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，瞄準(zhǔn) Micro LED   前沿領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)激光剝離、巨轉(zhuǎn)、鍵合、修復(fù)等設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，G3.5 代線激光鍵合設(shè)備已交付客戶。團(tuán)隊(duì)首創(chuàng)硅基 Micro LED   混合鍵合晶圓重構(gòu)整體解決方案，覆蓋晶圓研拋、飛秒激光切割、等離子體加工、混合鍵合等全流程關(guān)鍵設(shè)備，將半導(dǎo)體集成技術(shù)與新型顯示創(chuàng)新融合，為超高清顯示大規(guī)模量產(chǎn)開(kāi)辟了新路徑。（來(lái)源：人民日?qǐng)?bào)）