說(shuō)起遼寧的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)，那可真是一片藏龍臥虎之地！尤其是沈陽(yáng)，更是集中了眾多“實(shí)力派”。芯源微、拓荊科技、富創(chuàng)精密、中科儀、和研科技和新松機(jī)器人，這六家企業(yè)被大家親切地稱(chēng)為“六小虎”，它們?cè)诟髯灶I(lǐng)域里穩(wěn)扎穩(wěn)打，雖然時(shí)常被模仿，但核心實(shí)力卻一直保持著領(lǐng)先，堪稱(chēng)國(guó)產(chǎn)替代路上的“不倒翁”。
1. 芯源微：涂膠顯影領(lǐng)域的“單打冠軍”
芯源微，這家2002年由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所“孵化”出來(lái)的企業(yè)，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備界有著獨(dú)特的地位。它是目前國(guó)內(nèi)唯一能穩(wěn)定提供前道量產(chǎn)型涂膠顯影設(shè)備的廠商，這意味著芯片制造中最關(guān)鍵的“畫(huà)圖”和“顯影”環(huán)節(jié)，國(guó)內(nèi)有它來(lái)扛大旗。不僅如此，在物理清洗和先進(jìn)封裝這些細(xì)分賽道上，芯源微也是妥妥的“領(lǐng)頭羊”。更厲害的是，他們的產(chǎn)品已經(jīng)成功打入臺(tái)積電等國(guó)際大廠的供應(yīng)鏈，并獲得行業(yè)五強(qiáng)的認(rèn)可，實(shí)力可見(jiàn)一斑。
2. 拓荊科技：薄膜沉積的“多面手”
在芯片制造中，給芯片“穿衣服”（沉積薄膜）是必不可少的步驟。拓荊科技就是國(guó)內(nèi)少數(shù)能提供多種關(guān)鍵沉積設(shè)備（PECVD、SACVD、HDPCVD）并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的企業(yè)，同時(shí)也是原子層沉積（ALD）領(lǐng)域的先行者。他們的PECVD設(shè)備尤其重要，已經(jīng)能覆蓋芯片制造所需的各類(lèi)薄膜材料，為國(guó)產(chǎn)芯片的“華麗外衣”提供了有力保障。
3. 富創(chuàng)精密：精密零部件的“工匠大師”
一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備，精密零部件是它的“筋骨”。富創(chuàng)精密就是國(guó)內(nèi)這方面當(dāng)之無(wú)愧的“工匠大師”。他們的工藝水平全球領(lǐng)先，能生產(chǎn)各種高精度的零部件和氣體管路，精度指標(biāo)完全對(duì)標(biāo)國(guó)際主流。甚至能批量供應(yīng)給7nm這樣尖端工藝制程的設(shè)備，并成功進(jìn)入多家全球頂級(jí)設(shè)備商的供應(yīng)鏈，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備提供堅(jiān)實(shí)的“零件”支撐。
4. 中科儀：真空泵領(lǐng)域的“獨(dú)角獸”
真空環(huán)境是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)。中科儀，這家中科院背景的企業(yè)，是國(guó)內(nèi)唯一在集成電路制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)干式真空泵批量應(yīng)用的公司。作為國(guó)科科儀旗下的重要力量，它在維持芯片制造“真空”環(huán)境方面，扮演著不可或缺的角色。
5. 和研科技：封裝設(shè)備里的“破局者”
芯片封裝同樣關(guān)鍵，而和研科技就是國(guó)產(chǎn)封裝設(shè)備領(lǐng)域里那個(gè)敢于“破局”的企業(yè)。在劃片、切割分選、研磨這些封裝環(huán)節(jié)的核心設(shè)備上，他們一步步打破了國(guó)外企業(yè)的技術(shù)壟斷，讓國(guó)產(chǎn)設(shè)備在半導(dǎo)體封裝這條賽道上，跑出了自己的節(jié)奏。
6. 新松機(jī)器人：半導(dǎo)體“搬運(yùn)工”的“老司機(jī)”
來(lái)自機(jī)器人領(lǐng)域的“跨界選手”新松機(jī)器人，雖然主業(yè)是機(jī)器人，但其子公司新松半導(dǎo)體卻在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域也有一席之地。他們的真空機(jī)械手等產(chǎn)品，就像半導(dǎo)體工廠里的“高效搬運(yùn)工”，服務(wù)于制造的全鏈條，是國(guó)內(nèi)該細(xì)分領(lǐng)域的領(lǐng)先者。
半導(dǎo)體“六小虎”齊聚沈陽(yáng)，不僅展現(xiàn)了遼寧在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的深厚底蘊(yùn)，更在國(guó)產(chǎn)替代的大潮中，扮演著“先鋒軍”的角色。它們各自深耕，又相互協(xié)作，共同為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控，貢獻(xiàn)著來(lái)自東北老工業(yè)基地的“硬核”力量。未來(lái)，這股力量定會(huì)更強(qiáng)！
