國家知識產(chǎn)權局信息顯示,長鑫存儲技術有限公司申請一項名為“半導體結構及制備方法”的專利,公開號CN 118829192 A,申請日期為2023年4月。
專利摘要顯示,本公開實施例涉及半導體領域,提供一種半導體結構及制備方法,半導體結構包括:基底,基底內(nèi)具有沿第一方向延伸的位線;半導體柱,半導體柱位于基底內(nèi),半導體柱與位線電連接;半導體柱包括溝道區(qū)以及位于溝道區(qū)兩側的兩個摻雜區(qū),兩個摻雜區(qū)的其中一摻雜區(qū)與位線電連接;溝道區(qū)在兩個摻雜區(qū)的每一摻雜區(qū)的正投影均位于每一摻雜區(qū)內(nèi)字線字線沿第二方向延伸,字線位于基底內(nèi),字線環(huán)繞溝道區(qū);存儲結構,存儲結構位于基底上,存儲結構與兩個摻雜區(qū)的另一摻雜區(qū)電連接;其中,第一方向與第二方向相交。公開的半導體結構至制備方法至少可以提高集成電路的存儲密度。