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首臺15天交付!格創(chuàng)東智Stocker助力頭部12吋晶圓廠自動化物料存儲

日期:2024-09-12 閱讀:38
核心提示:國內頭部半導體存儲器制造商,專業(yè)從事集成電路內存芯片的設計、研發(fā)、生產和銷售,目前12英寸晶圓廠已建成投產。其在國內外擁有

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國內頭部半導體存儲器制造商,專業(yè)從事集成電路內存芯片的設計、研發(fā)、生產和銷售,目前12英寸晶圓廠已建成投產。其在國內外擁有多個研發(fā)中心和分支機構,已推出多款不同類型的內存芯片,滿足多種應用需求。

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隨著市場行情的回暖和外部需求的增長,公司產能逐漸提升,現有Stocker晶圓存儲立庫(以下簡稱Stocker)的存儲量無法滿足需求,急需擴充FOUP的存儲。

同時由于客戶工藝流程復雜、生產過程離散,會使得某些機臺在某一段時間內,積累的晶圓比較多,如果是依賴人力搬運,難免出現調度、轉運不及時的情況,從而造成瓶頸機臺的擁塞以及部分機臺運行不飽和。

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眾所周知,從早期的6英寸晶圓廠,到如今的8英寸、12英寸廠成為主流,半導體制造工藝越來越先進,產線中的工序成倍增長,關鍵機臺的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加,傳統(tǒng)人力在產線設備間的物料搬運,成為制約生產效率和生產質量的瓶頸。也因此,AMHS從8英寸廠開始顯露頭角,在12英寸廠中成為標配。

AMHS主要由OHT空中搬運小車、Stocker晶圓存儲立庫、MCS/OHTC/STKC軟件系統(tǒng)等組成。其中Stocker作為AMHS的重要構成,用于潔凈室內半導體生產工序及工序之間晶圓載具的存儲,可與上位系統(tǒng)進行通訊,實現帳料自動管理。為客戶生產現場減少物料搬運擁堵情況,降低傳送周期,管理復雜的批次操作,實現物料高效搬運。同時確保機臺排產充足,為工廠實現Fully Auto提供重要支持。

根據無塵室可利用空間,格創(chuàng)東智靈活定制各類型Stocker,實現空間最大化。

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Stocker設備打包完畢、發(fā)往客戶工廠

通過導入格創(chuàng)東智Stocker,自動化存儲、提取和傳送各種規(guī)格的晶圓料盒,該頭部12吋晶圓廠實現了高效自動化物料存儲擴產的需求。

1、自動物料搬運存儲

Stocker專為潔凈車間設計,與OHT等自動化設備的協同作業(yè)構建起高效的自動物料搬運存儲系統(tǒng)AMHS,根據生產計劃和需求來優(yōu)化物料流動。

2、降低人力&提高效率

作為無塵車間內的臨時存儲庫,Stocker可平衡設備及工藝間產能的差異,最大程度縮短晶圓在工藝設備間的流轉時間,提高設備利用率;Stocker控制系統(tǒng)可自動向MCS系統(tǒng)更新對應物料的位置信息,實現物料的統(tǒng)一管理,提高工作效率的同時減少人員工作強度。

3、提高產品質量

Stocker內部可達到較高的潔凈度,能夠滿足物料存儲對潔凈度的要求,同時庫存和物料流動的實時追蹤有助于快速定位和解決潛在問題,進而提升產品質量、實現制造過程的可追溯性。

4、提高空間利用率

Stocker能夠充分利用潔凈車間的閑置面積及垂直空間,在相同占地面積中提高倉儲容量,從而提高空間利用率。

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與常規(guī)交付相比,此次項目的工期非常緊,格創(chuàng)東智臨危受命,緊急協調各種資源,組建專業(yè)項目團隊,與客戶緊密溝通,快速實現Stocker的調試/交付(第一臺Stocker從客戶PO下發(fā)到現場交付僅僅15天,這個效率在業(yè)界是絕無僅有的),非常及時、高效地支撐了客戶產能的提升,并取得了客戶的高度認可。

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