據(jù)佛山南海區(qū)科技局官微消息，7月11日，廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線暨項(xiàng)目簽約儀式在佛山南海舉行。會(huì)上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺通線，微納院二期項(xiàng)目正式封頂，一批半導(dǎo)體項(xiàng)目現(xiàn)場簽約。

廣東微納院是由佛山市、南海區(qū)兩級政府共同建設(shè)，中國科學(xué)院蘇州納米所支持的廣東省省屬事業(yè)單位，聚焦芯片制造環(huán)節(jié)，搭建先進(jìn)半導(dǎo)體工藝研發(fā)體系，形成半導(dǎo)體材料外延生長、芯片加工、封裝測試等全鏈條中試服務(wù)模式。據(jù)介紹，平臺建成后，將具備8吋硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。

活動(dòng)現(xiàn)場，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協(xié)議。未來，廣東微納院“半導(dǎo)體材料外延與表征”、“半導(dǎo)體微納加工”兩大中試平臺將分別為合作企業(yè)提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術(shù)咨詢等多種中試服務(wù)。

依托半導(dǎo)體中試平臺，廣東微納院于2023年啟動(dòng)二期建設(shè)。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設(shè)6萬平方米專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計(jì)2025年一季度進(jìn)入試運(yùn)行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動(dòng)型主題園區(qū)。當(dāng)日舉行了二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議，三期項(xiàng)目規(guī)劃正在推進(jìn)。