6月19日，肥東縣政府與上海啟元氣體正式簽署半導(dǎo)體先進制程電子特氣國產(chǎn)化項目投資合作協(xié)議。啟元氣體董事長俞俊、肥東縣委書記姚飛共同見證簽約，啟元氣體首席運營官楊建、肥東縣委常委、副縣長吳剛共同簽署協(xié)議。

上海啟元氣體將依托韓系技術(shù)資源及支持，計劃在位于合肥市肥東縣的合肥循環(huán)經(jīng)濟示范園內(nèi)建設(shè)國內(nèi)高標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體先進制程電子特氣生產(chǎn)基地。項目占地面積約70畝，建成達產(chǎn)后，預(yù)計實現(xiàn)年營收不低于10億元，年稅收不低于6000萬元。該項目的落地，將加快推動國際半導(dǎo)體先進制程電子特氣材料國產(chǎn)化進程，部分產(chǎn)品填補國內(nèi)空白，將極大增強國內(nèi)半導(dǎo)體先進制程所需電子特氣的本土供應(yīng)能力。

上海啟元氣體發(fā)展有限公司成立于2009年8月，主要從事電子特氣、電子氣體設(shè)備制造及大宗氣體供氣的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售業(yè)務(wù)。曾打造國內(nèi)首臺套氪氙和氖氦稀有氣體精煉設(shè)備，并榮獲上海市科技進步三等獎。公司主要高純電子特氣產(chǎn)品已服務(wù)于全球一流半導(dǎo)體企業(yè)，是國內(nèi)較早通過韓國三星、SK海力士認證的企業(yè)。上海啟元氣體于2021年獲得韓國TEMC戰(zhàn)略投資，TEMC是韓國著名的電子材料上市公司，是三星、SK海力士的核心電子特氣供應(yīng)商。