在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化浪潮下，光刻設(shè)備領(lǐng)域傳來(lái)重要進(jìn)展?？偛课挥谙愀鄣腁BM公司近日與佛山市簽署合作協(xié)議，將在順德區(qū)北滘鎮(zhèn)建設(shè)年產(chǎn)百臺(tái)套光刻機(jī)及先進(jìn)封裝核心設(shè)備生產(chǎn)基地。這一項(xiàng)目不僅是廣東省首個(gè)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的光刻機(jī)項(xiàng)目，也是粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的重要布局。

光刻機(jī)作為集成電路制造的核心裝備，其技術(shù)復(fù)雜度和精度要求位居半導(dǎo)體設(shè)備之首。目前全球具備整機(jī)研發(fā)能力的企業(yè)不足二十家，而能提供極紫外光刻系統(tǒng)的企業(yè)更是鳳毛麟角。在這一高度集中的領(lǐng)域，ABM經(jīng)過(guò)二十年技術(shù)積累，已掌握超過(guò)2000項(xiàng)光刻機(jī)關(guān)鍵零部件專有技術(shù)，成為全球少數(shù)具備整機(jī)自研自制能力的企業(yè)之一。

據(jù)行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，截至2025年，中國(guó)光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化率仍低于20%，其中上海微電子占據(jù)主導(dǎo)地位。而ABM作為行業(yè)內(nèi)的“隱形冠軍”，已向全球300余家客戶交付近千臺(tái)設(shè)備，產(chǎn)品覆蓋集成電路前道制造和先進(jìn)封裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

此次佛山項(xiàng)目將分階段建設(shè)，首期重點(diǎn)布局光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備及晶圓鍵合機(jī)等核心裝備，計(jì)劃三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)百臺(tái)套目標(biāo)。ABM董事長(zhǎng)吳玷表示，選擇佛山是看中其雄厚的制造業(yè)基礎(chǔ)，特別是在精密加工、光學(xué)元件和控制系統(tǒng)等領(lǐng)域的配套能力，與光刻設(shè)備制造需求高度契合。

從技術(shù)路線來(lái)看，ABM主要專注于I-line光刻機(jī)領(lǐng)域，這類設(shè)備被業(yè)內(nèi)形象地比喻為“皮卡”——雖不如ASML的EUV“跑車”那般追求極致精度，但在MEMS、功率器件、化合物半導(dǎo)體等特定領(lǐng)域具有不可替代的價(jià)值。數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)現(xiàn)有晶圓產(chǎn)線中，約70%仍在使用服役超過(guò)25年的光刻設(shè)備，這些存量市場(chǎng)正是ABM等企業(yè)發(fā)力國(guó)產(chǎn)替代的重要突破口。

在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，ABM的技術(shù)布局更具戰(zhàn)略意義。隨著臺(tái)積電CoWoS等先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正探索通過(guò)封裝創(chuàng)新提升芯片性能的路徑。ABM提供的先進(jìn)封裝一站式解決方案，有望串聯(lián)起本土產(chǎn)業(yè)鏈的各環(huán)節(jié)，彌補(bǔ)中國(guó)在高端封裝設(shè)備領(lǐng)域的空白。

佛山市政府相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，該項(xiàng)目的落地是實(shí)施“強(qiáng)鏈補(bǔ)鏈”戰(zhàn)略的關(guān)鍵舉措。目前佛山已集聚336家規(guī)模以上半導(dǎo)體企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破900億元，先后引進(jìn)廣東先導(dǎo)稀材光芯片、藍(lán)箭電子芯片封測(cè)等重大項(xiàng)目，初步形成完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。

行業(yè)分析師指出，ABM的發(fā)展軌跡與1990年代的ASML有相似之處，都經(jīng)歷了長(zhǎng)期技術(shù)積累后迎來(lái)產(chǎn)業(yè)機(jī)遇。在當(dāng)前地緣政治背景下，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在加速，ABM這類掌握核心技術(shù)的企業(yè)將獲得更大發(fā)展空間。據(jù)規(guī)劃，佛山力爭(zhēng)通過(guò)該項(xiàng)目帶動(dòng)半導(dǎo)體光刻裝備產(chǎn)業(yè)在五年內(nèi)達(dá)到40億元規(guī)模，十年突破100億元目標(biāo)。

隨著該項(xiàng)目落地，中國(guó)在光刻設(shè)備這一“卡脖子”領(lǐng)域又邁出堅(jiān)實(shí)一步，為構(gòu)建自主可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈提供了重要支撐。