山東鎵數(shù)智能科技有限公司的氮化鎵單晶襯底項(xiàng)目已全面達(dá)產(chǎn)。

該項(xiàng)目位于臨沂電創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園，由山東鎵數(shù)智能科技有限公司運(yùn)營(yíng)，主要生產(chǎn)高亮度、高結(jié)晶質(zhì)量的2英寸氮化鎵單晶襯底。

對(duì)此，山東鎵數(shù)總經(jīng)理梁如儉介紹道，該項(xiàng)目規(guī)劃50條生產(chǎn)線，年產(chǎn)量可達(dá)10萬(wàn)片氮化鎵單晶襯底。2024年規(guī)?；懂a(chǎn)，2025年5月開(kāi)始試產(chǎn)沖刺，目前已建成10條國(guó)際領(lǐng)先生產(chǎn)線。產(chǎn)品已進(jìn)入中科院采購(gòu)目錄并形成訂單，技術(shù)上可實(shí)現(xiàn)三片同時(shí)生長(zhǎng)，具備六片生長(zhǎng)的技術(shù)儲(chǔ)備，能生產(chǎn)大尺寸單晶襯底晶片。以畝均稅收50萬(wàn)元、年產(chǎn)值2.3億元的效益榮獲臨沂市2024年度“十大好項(xiàng)目”。

HVPE設(shè)備實(shí)現(xiàn)三片同時(shí)生長(zhǎng)，具備六片生長(zhǎng)的技術(shù)儲(chǔ)備，晶體缺陷密度大幅降低。國(guó)產(chǎn)檢測(cè)設(shè)備參與度提升，襯底缺陷檢測(cè)、厚度均勻性檢測(cè)設(shè)備本土化率達(dá)60%以上。

該項(xiàng)目填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體材料空白，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)氮化鎵產(chǎn)能擴(kuò)張和產(chǎn)業(yè)鏈完善。羅莊區(qū)依托該項(xiàng)目規(guī)劃千畝級(jí)電創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園，目標(biāo)打造“原材料—芯片—終端應(yīng)用”全產(chǎn)業(yè)鏈集群。該項(xiàng)目的達(dá)產(chǎn)標(biāo)志著中國(guó)在氮化鎵單晶襯底領(lǐng)域取得重要突破，對(duì)提升國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體材料競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義。