據(jù)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告,比亞迪(002594)半導(dǎo)體股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“終端結(jié)構(gòu)及其制造方法以及功率器件“,公開號(hào)CN117673117A,申請(qǐng)日期為2022年8月。
專利摘要顯示,本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及終端結(jié)構(gòu)及其制造方法以及功率器件。終端結(jié)構(gòu)包括第一電極層、絕緣介質(zhì)層、襯底和第二電極層,絕緣介質(zhì)層、襯底和第二電極層層疊設(shè)置,襯底上設(shè)置有主結(jié)、摻雜場(chǎng)終止環(huán)、第一場(chǎng)限環(huán)和摻雜層,主結(jié)設(shè)置在襯底的內(nèi)側(cè),摻雜場(chǎng)終止環(huán)設(shè)置在襯底的外側(cè),第一場(chǎng)限環(huán)環(huán)繞主結(jié),摻雜層沿著第一場(chǎng)限環(huán)的一側(cè)的外壁延伸至第一場(chǎng)限環(huán)的底部;摻雜層的摻雜濃度大于襯底的摻雜濃度。本發(fā)明實(shí)施例提供的終端結(jié)構(gòu),摻雜層摻雜濃度大于襯底的摻雜濃度,能夠?qū)﹄妶?chǎng)具有牽引作用,從而減輕電場(chǎng)在絕緣介質(zhì)層表面的集中作用,減小表面電場(chǎng),提高擊穿電壓,提高耐壓值。