捷佳偉創(chuàng)官微消息，近日，捷佳偉創(chuàng)子公司常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司國(guó)內(nèi)首臺(tái)完全自主研發(fā)的電子級(jí)硅芯清洗設(shè)備成功下線，即將交付客戶。

據(jù)悉，該設(shè)備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設(shè)備，用于清洗硅芯表面有機(jī)物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機(jī)能水等工藝，產(chǎn)品可用于高純光伏硅片和半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

捷佳偉創(chuàng)表示，公司已成為國(guó)內(nèi)唯一一家達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的硅芯硅料清洗設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)廠商，目前公司已實(shí)現(xiàn)表金屬0.5ppbw以上等級(jí)的電子級(jí)硅料批量出貨，2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產(chǎn)品。