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晶盛機(jī)電:已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術(shù)

日期:2023-07-31 閱讀:298
核心提示:近日,晶盛機(jī)電在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術(shù),公司通過(guò)自有籽晶經(jīng)過(guò)多輪擴(kuò)徑,成功生長(zhǎng)出8英

 近日,晶盛機(jī)電在互動(dòng)平臺(tái)表示,公司已掌握行業(yè)領(lǐng)先的8英寸碳化硅襯底工藝和技術(shù),公司通過(guò)自有籽晶經(jīng)過(guò)多輪擴(kuò)徑,成功生長(zhǎng)出8英寸N型碳化硅晶體,解決了8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)過(guò)程中溫場(chǎng)不均,晶體開(kāi)裂、氣相原料分布等難點(diǎn)問(wèn)題。公司建設(shè)了6-8英寸碳化硅晶體生長(zhǎng)、切片、拋光環(huán)節(jié)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)線,通過(guò)持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和工藝積累,加快碳化硅襯底材料的發(fā)展進(jìn)程。

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