3月2日，據(jù)媒體消息，三星電子正在研發(fā)取代碳化硅(SiC)聚焦環(huán)(Focus Ring)的新材料。

 

　　業(yè)界消息指出，硬度表現(xiàn)優(yōu)秀的碳化硼(B4C)成為三星有力備選方案。

 

　　三星為將B4C打造成新一代聚焦環(huán)材料，正在進(jìn)行相關(guān)研發(fā)。聚焦環(huán)在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，主要用于硅片蝕刻工藝，除了能固定硅片之外，也有維持電漿體密度、防止硅片遭污染等功用。