日前，南大光電公告披露，公司作為牽頭單位，承擔(dān)的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)（02專(zhuān)項(xiàng)）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“項(xiàng)目”），今日收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實(shí)踐管理辦公室下發(fā)的項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)價(jià)結(jié)論書(shū)，項(xiàng)目通過(guò)了專(zhuān)家組驗(yàn)收。
據(jù)介紹，項(xiàng)目總體目標(biāo)是開(kāi)發(fā)高端集成電路制造用ArF干式與浸沒(méi)式光刻膠成套工藝技術(shù)，形成規(guī)?；a(chǎn)能力；構(gòu)建與集成電路行業(yè)國(guó)際先進(jìn)水平接軌的技術(shù)和管理人才團(tuán)隊(duì)，建立完善的技術(shù)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)運(yùn)行、品質(zhì)管理、市場(chǎng)開(kāi)拓運(yùn)行體系和ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展相應(yīng)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系。
該項(xiàng)目分為三個(gè)子課題，其中公司控股子公司寧波南大光電承接的課題名為：ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。該子課題主要在以下方面開(kāi)展研究：1、ArF光刻膠產(chǎn)品配方及工藝的開(kāi)發(fā)；2、配方關(guān)鍵組分材料的開(kāi)發(fā)；3、ArF光刻膠產(chǎn)品及關(guān)鍵組分的分析測(cè)試能力的研究；4、ArF光刻膠的產(chǎn)業(yè)化研究。
公告指出，專(zhuān)家組同意項(xiàng)目通過(guò)績(jī)效評(píng)價(jià)驗(yàn)收。驗(yàn)收專(zhuān)家組認(rèn)為：1、光刻膠是集成電路生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵材料，通過(guò)本項(xiàng)目的實(shí)施，掌握了ArF干式和浸沒(méi)式系列光刻膠產(chǎn)品的原材料制備、配膠、分析檢測(cè)、應(yīng)用驗(yàn)證等關(guān)鍵技術(shù)，在知識(shí)產(chǎn)權(quán)和人才培養(yǎng)等方面取得重要進(jìn)展。形成了由51人組成的ArF光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)管理團(tuán)隊(duì)，建成了ArF光刻膠產(chǎn)品（包括干式和浸沒(méi)式）的質(zhì)量控制平臺(tái)、年產(chǎn)5噸的干式ArF光刻膠及年產(chǎn)20噸的浸沒(méi)式ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線(xiàn)；建立了科研經(jīng)費(fèi)管理相關(guān)的財(cái)務(wù)制度，并能有效執(zhí)行；申請(qǐng)專(zhuān)利91項(xiàng)，其中國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利81項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利4項(xiàng)，實(shí)用新型專(zhuān)利6項(xiàng)（已授權(quán)），制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)，研制新產(chǎn)品2項(xiàng)；實(shí)現(xiàn)ArF光刻膠產(chǎn)品銷(xiāo)售，完成了任務(wù)合同書(shū)規(guī)定的主要考核指標(biāo)。這是我國(guó)集成電路關(guān)鍵材料自主創(chuàng)新的一個(gè)重要成果。
2、寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化基地，具備進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)的能力，建議抓住機(jī)遇，盡快擴(kuò)產(chǎn)。
南大光電表示，ArF光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的重要關(guān)鍵材料，可以用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝，廣泛應(yīng)用于高端芯片制造（如邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、AI芯片、5G芯片和云計(jì)算芯片等）。長(zhǎng)期以來(lái)，國(guó)內(nèi)高端光刻膠市場(chǎng)長(zhǎng)期為國(guó)外巨頭所壟斷，對(duì)我國(guó)芯片制造具有“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。盡快實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠材料的全面國(guó)產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化具有十分重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。本項(xiàng)目研發(fā)任務(wù)的圓滿(mǎn)完成，預(yù)計(jì)將對(duì)公司光刻膠事業(yè)的未來(lái)發(fā)展產(chǎn)生積極影響。
