
9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術及應用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,中國科學院半導體研究所研究員徐馳將受邀出席論壇,并帶來《從氣體源到器件:面向下一代信息技術的硅-鍺-錫類半導體全流程研究》的主題報告,敬請關注!

嘉賓簡介
徐馳,中國科學院半導體研究所研究員,博士生導師,2021年入選國家海外高層次引才計劃青年項目。本科畢業(yè)于北京大學物理學院,博士畢業(yè)于美國亞利桑那州立大學。主要研究方向為硅基IV族半導體材料(鍺、鍺錫合金、硅鍺錫合金等)的氣相異質外延、原位摻雜、紅外光電子器件制備及能帶結構、摻雜效應、缺陷演化等半導體物理。在國際知名期刊發(fā)表論文40余篇,其中第一作者、通訊作者論文20余篇,代表性論文發(fā)表于Physical Review Letters、Journal of the American Chemical Society、Chemistry of Materials、ACS Applied Materials & Interfaces、Physical Review B等期刊。谷歌學術總引用量1000余次?,F(xiàn)任全國半導體設備和材料標準化技術委員會第七屆氣體分技術委員會委員。
單位簡介
中國科學院半導體研究所是國家級綜合性研究機構,聚焦半導體物理、材料及器件研究,支撐半導體相關的系統(tǒng)集成與信息技術創(chuàng)新。光電子材料與器件全國重點實驗室M課題組,組長薛春來研究員,現(xiàn)任中國科學院半導體研究所副所長,國家杰青。課題組致力于研究新型硅基IV族半導體材料及相關材料物理,研制高性能紅外光電器件及面向光通信的硅基光電子模塊、芯片。課題組采用超高真空化學氣相沉積(UHV-CVD)技術路線,使用包括高活性氣體源在內的多種生長源,具備硅、鍺、錫類IV族材料的外延與摻雜能力,在硅基光電子領域做出了獨特的成果。
報告前瞻
報告題目:從氣體源到器件:面向下一代信息技術的硅-鍺-錫類半導體全流程研究
報告摘要:鍺與鍺錫合金等IV族半導體材料因其與硅體系良好的兼容性以及優(yōu)越的半導體物理性質,在微電子學、紅外光電子學以及量子科技領域具備廣闊的發(fā)展前景。然而,由于硅、鍺、錫原子之間晶格失配較大,同時含錫合金體系中錫原子易偏析,IV族半導體材料在硅襯底上的高質量異質外延始終面臨諸多困難。研究聚焦硅基IV族材料的氣相異質外延,覆蓋高活性氣體源-材料外延-器件制備-半導體物理探索的全流程。報告內容涉及基于商用氣體源的硅基IV族材料外延與摻雜、IV族高活性氣體源與摻雜源的開發(fā)及利用、硅基IV族光電子器件的研制、硅基IV族材料的半導體物理等研究內容。
附會議信息:
【會議時間】 2025年9月26-28日
【會議地點】云南·昆明
【指導單位】
第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)
中關村半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.huizhouyinshua.cn)
半導體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導體產(chǎn)業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學院半導體研究所
云南大學
山東大學
云南師范大學
昆明理工大學
晶體材料全國重點實驗室
.....
【關鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導體材料生長與加工關鍵技術、器件工藝及應用研究;
【主要方向】
1.化合物半導體單晶與外延材料
(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設計等)
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
(大硅片生長及及應用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機械拋光,摻雜調控離子注入等)
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關鍵裝備
(高純前驅體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設備與材料,檢測設備等)
4.測試評價及AI for Science
(AI 驅動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調控、缺陷實時檢測與修復,多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)
5.光電子器件工藝與應用
(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達,光通信,量子技術等)
6.通訊射頻器件工藝與應用
(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關器件,移動通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機,射頻能量等)
7.能源電子及應用
(風電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費電子,儀器儀表等)
8.綠色廠務及質量管控
(潔凈廠房,高純水制備,化學品供應,特氣供應,廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應及質量管控等)
【程序委員會】
大會主席:惠峰 (云南鍺業(yè))
副主席:陳秀芳(山東大學)、趙璐冰(CASA)
委員:趙德剛(中科院半導體所)、康俊勇(廈門大學)、 徐寶強(昆明理工)、皮孝東(浙江大學)、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學)、李強(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學)、郭杰(云師大)、王茺(云南大學)、邱峰(云南大學)、楊杰(云南大學)、謝自力(南京大學)、葛振華(昆明理工大學)、田陽(昆明理工大學)、魏同波(中科院半導體所)、許福軍(北京大學)、徐明升(山東大學)、孫海定(中國科學技術大學)、田朋飛(復旦大學)、劉玉懷(鄭州大學)、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導體所)、高娜(廈門大學)、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學)、李寶學(云鍺紅外) ......等
【日程安排】

【擬參與單位】
中科院半導體所、鑫耀半導體,南砂晶圓,藍河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學,廈門大學,士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學,西安電子科技大學,中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實驗室,中微公司,矢量集團,晶盛機電,連科半導體,晶澳太陽能 美科太陽能 高景太陽能 中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學,阿特斯陽光電力,山東大學,云南師范大學,中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導體,南砂晶圓、西安聚能超導,蘇州納維,中科院物理所,浙江大學,云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學,深圳平湖實驗室,中科院長春光機所,廣東工業(yè)大學,南方科技大學, 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復旦大學,中國科學技術大學, 西安交通大學,江蘇第三代半導體研究院, 光迅科技,鎵和半導體 全磊光電 新易盛 昆明物理所,科友半導體,STR,河北同光,香港科技大學,深圳納設 中科院蘇州納米所,中科院上海光機所,哈工大等等
【活動參與】
1、注冊費:會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、繳費方式:
①銀行匯款
開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號:336 356 029 261
名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
②在線注冊

掃碼注冊報名
③現(xiàn)場繳費(微信+支付寶)
【論文投稿及報告咨詢】
賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986,linan@casmita.com
【參會參展及商務合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會議酒店】
酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址:中國(云南)自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價格:430元/晚(含雙早)
酒店預定聯(lián)系: 陳經(jīng)理,13759452505(微信同號)
郵箱:13759452505@139.com
