2025年盛夏，納設智能迎來關鍵進展——自主研發(fā)的全自動雙腔8英寸碳化硅外延設備及多臺8英寸單腔設備交付龍頭客戶！這一里程碑標志著公司在第三代半導體裝備領域的產品實力邁入新階段，為全球碳化硅產業(yè)鏈的降本增效注入新的創(chuàng)新動力。

雙腔設計

效能與精度的雙重躍升

本次交付的核心設備采用獨立雙腔體架構，獨創(chuàng)的反應腔室設計讓客戶運營成本大大降低，同時創(chuàng)新性融合多區(qū)獨立進氣控制與智能溫場系統(tǒng)，實現(xiàn)6英寸與8英寸晶圓的高兼容性生產。在工藝性能上，外延層厚度均勻性穩(wěn)定在1%以內，摻雜均勻性達2%以內，缺陷密度≤0.1cm2，達到行業(yè)先進水平。

技術破局

搶占8英寸產業(yè)升級先機

隨著新能源汽車、超高壓充電樁等場景對碳化硅器件的需求激增，全球產業(yè)正加速向8英寸晶圓升級。納設智能憑借自主可控的技術核心，率先實現(xiàn)8英寸設備量產交付。公司8英寸設備自推出以來數次榮獲大客戶復購，印證了市場對公司產品力的認可。

賦能產業(yè)

技術生態(tài)持續(xù)延展

從2021年首臺碳化硅外延設備出貨，到本次8英寸雙腔外延設備交付，納設智能始終“致力成為全球先進材料制造設備引領者”。2025年，新一代智能外延系統(tǒng)將融合自動化技術，推動先進材料設備裝備向“高效低碳、智能集成”進化。

從單腔突破到雙腔領航，納設智能以硬核創(chuàng)新回應時代命題。8英寸設備的批量交付，是技術實力的實證，更是對全球產業(yè)鏈升級的堅定承諾。未來，我們將繼續(xù)攜手合作伙伴，共塑碳化硅產業(yè)的智造未來！

關于納設智能

深圳市納設智能裝備股份有限公司成立于2018年，主要從事第三代半導體碳化硅、新型光伏材料、納米材料等先進材料領域所需的薄膜沉積設備等高端設備的研發(fā)、生產和銷售。公司致力成為全球先進材料制造設備引領者，始終堅持自主創(chuàng)新，專注于工藝指標、耗材成本、維護效率等方面的持續(xù)優(yōu)化改進。        公司核心團隊由材料設備領域資深專家組成，自有第三代半導體碳化硅外延設備研發(fā)技術榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜單。公司于2020年被評定為具有高成長性的“國家高新技術企業(yè)”，2024年榮獲國家級專精特新“小巨人”認定，2025年榮獲高端裝備領域 “金?？苿?chuàng)企業(yè)獎”。