6月16日,萬業(yè)企業(yè)宣布,旗下凱世通已于6月13日成功向首個通過投標贏得采購訂單的傳感器行業(yè)新客戶交付了首臺低能大束流離子注入機。
資料顯示,凱世通是一家專注于研發(fā)制造集成電路高端離子注入設備的高科技公司,主要提供系列化的離子注入解決方案。離子注入機是芯片制造三大關(guān)鍵裝備之一,開發(fā)難度僅次于光刻機,被業(yè)內(nèi)人士稱為“廠長殺手”,其中低能大束流離子注入機的市場規(guī)模最大、產(chǎn)業(yè)化難度極高。
目前凱世通已實現(xiàn)了國產(chǎn)低能大束流離子注入機從樣機研發(fā)、產(chǎn)線驗證再到規(guī)模量產(chǎn)的跨越式發(fā)展,產(chǎn)品在10余家國內(nèi)主流12英寸集成電路產(chǎn)線安全量產(chǎn),覆蓋先進邏輯、先進存儲、CIS圖像傳感器以及功率芯片四大核心領(lǐng)域。
今年5月,凱世通宣布,國產(chǎn)低能大束流離子注入機12英寸晶圓產(chǎn)品片過貨量突破500萬片。隨后(6月5日),凱世通再次獲得一家12英寸主流晶圓廠客戶的低能大束流離子注入機復購訂單。