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蘇州立琻半導(dǎo)體申請p型AlGaN材料及其制備等專利,提高了p型AlGaN材料的空穴濃度

日期:2024-12-20 閱讀:269
核心提示:國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,蘇州立琻半導(dǎo)體有限公司申請一項名為p型AlGaN材料及其制備方法、紫外光電子器件的制備方法的專利,公開

國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,蘇州立琻半導(dǎo)體有限公司申請一項名為“p型AlGaN材料及其制備方法、紫外光電子器件的制備方法”的專利,公開號CN 119133328 A,申請日期為2024年11月。

專利摘要顯示,本申請涉及一種p型AlGaN材料及其制備方法、紫外光電子器件的制備方法,屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,p型AlGaN材料的制備方法包括:在第一溫度下,通入有機(jī)金屬源和N源,生長p型AlGaN材料;暫停通入有機(jī)金屬源,在第二溫度下保持一定時間,使p型AlGaN材料中的部分Ga原子逸出,從而在p型AlGaN材料中產(chǎn)生陽離子空位;其中,第二溫度高于第一溫度,第二溫度與第一溫度的差值的范圍為20℃至200℃。由此,提高了p型AlGaN材料的空穴濃度。

 

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