近日，至純科技在接受機構調(diào)研時表示，公司濕法清洗設備可覆蓋28納米全工藝工序段并有重復訂單，在14及7納米制程也有數(shù)臺訂單交付客戶，公司在濕法清洗領域可實現(xiàn)國產(chǎn)替代。

據(jù)介紹，單片硫酸設備為濕法設備中難度最高的工藝機臺，至純科技S300 SPM機臺已交付給多家國內(nèi)主流晶圓廠，并已經(jīng)應用于國內(nèi)頭部客戶的12英寸邏輯量產(chǎn)線，月產(chǎn)能最高可達6萬片次以上。單設備在用戶量產(chǎn)線上的累計產(chǎn)量已超過20萬片次，是為高階濕法設備國產(chǎn)替代進口的重要里程碑。至純科技表示，目前公司是國內(nèi)單片硫酸設備達到上述單機臺量產(chǎn)指標的唯一廠商。

至純科技同時稱，公司濕法設備應用于成熟制程的產(chǎn)品線拓展有序，在部分邏輯用戶和第三代半導體用戶的產(chǎn)線滲透率持續(xù)提高。應用于先進制程的高階產(chǎn)品線，在訂單獲取的進度上受到用戶擴產(chǎn)進度影響有延后，但在高溫硫酸、FINETCH、單片磷酸等尚被國際廠商壟斷的機臺，公司交付和驗證進度都在國內(nèi)領先。

至純科技同時從系統(tǒng)集成延伸至盈利能力更強的材料端，2022年初建成國內(nèi)第一座電子級大宗氣供應工廠，目前已穩(wěn)定運行一年多，每年可貢獻穩(wěn)定的營收，這是國內(nèi)完全自主建設的第一座ONSITE大宗氣供應工廠，至純科技表示，公司繼續(xù)在電子氣電子化學品方面拓展業(yè)務及品類，增加電子材料端的業(yè)務投入。