近日，西安和其光電科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“和其光電”)最新研發(fā)的多款紅外測(cè)溫設(shè)備成功交付，標(biāo)志著我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域又一關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代，突破了“卡脖子”難題。

半導(dǎo)體制造需要經(jīng)歷晶圓生長(zhǎng)、外延、刻蝕等多個(gè)工序，在每個(gè)工序中，溫度的控制和監(jiān)測(cè)對(duì)于確保產(chǎn)品質(zhì)量和一致性至關(guān)重要。長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域的高端測(cè)溫設(shè)備一直被國(guó)外廠商壟斷，成為制約芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題。尤其近年來(lái)，在美國(guó)的極力遏制打壓下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)已經(jīng)遭遇“斷供”，國(guó)產(chǎn)替代刻不容緩、迫在眉睫。

“2022年8月，我們瞄準(zhǔn)國(guó)產(chǎn)替代，啟動(dòng)了技術(shù)攻關(guān)，與行業(yè)伙伴共渡難關(guān)。”和其光電研發(fā)總監(jiān)方笑塵說(shuō)。

經(jīng)過(guò)研發(fā)人員夜以繼日持續(xù)攻堅(jiān)克難，最終，半導(dǎo)體的紅外測(cè)溫領(lǐng)域所有技術(shù)路線都被打通，測(cè)溫精度最高達(dá)到±0.15%，各項(xiàng)指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到或超過(guò)國(guó)外同類產(chǎn)品。在此基礎(chǔ)上，和其光電一鼓作氣相繼推出了十幾款產(chǎn)品，以滿足各類半導(dǎo)體企業(yè)的不同需求。

據(jù)方笑塵介紹，和其光電目前已經(jīng)有比色紅外、單色紅外及光導(dǎo)管型三款測(cè)溫設(shè)備成功交付客戶，另外還有8款樣機(jī)正在接受驗(yàn)證。“隨著這些產(chǎn)品的日漸成熟，我國(guó)半導(dǎo)體測(cè)溫設(shè)備突破封鎖、實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代便指日可待。”

冰凍三尺，非一日之寒，和其光電的技術(shù)突破，也非短短數(shù)月之功。

和其光電成立于2011年，是在西安高新區(qū)“一院一所一校”模式下，由中科院西安光機(jī)所孵化的高科技企業(yè)。自成立以來(lái)，和其光電依托中科院西安光機(jī)所50多年的技術(shù)積累，以市場(chǎng)需求為導(dǎo)向，在測(cè)溫領(lǐng)域持續(xù)深耕，曾成功獲得首屆“金燧獎(jiǎng)”中國(guó)光電儀器品牌榜優(yōu)秀獎(jiǎng)、國(guó)家電網(wǎng)科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)、河北省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)、中國(guó)電工技術(shù)協(xié)會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)、中國(guó)電力聯(lián)合會(huì)年度電力科技創(chuàng)新一等獎(jiǎng)等一系列科技創(chuàng)新獎(jiǎng)項(xiàng)，并逐步成長(zhǎng)為全球知名的變壓器繞組光纖溫控系統(tǒng)品牌商之一。

目前，和其光電系列光纖測(cè)溫產(chǎn)品應(yīng)用已遍布國(guó)內(nèi)32個(gè)省市和歐美、東南亞、非洲等四十多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，廣泛應(yīng)用于電力系統(tǒng)、軌道交通、鋼鐵冶金、煤炭開(kāi)采、石油化工、微波醫(yī)療、食品安全和科學(xué)研究等領(lǐng)域。

“和其光電專家們數(shù)十年的技術(shù)積累和企業(yè)持續(xù)多年以市場(chǎng)為導(dǎo)向開(kāi)展的科技創(chuàng)新，是本次能夠迅速在半導(dǎo)體紅外測(cè)溫領(lǐng)域取得突破的重要原因。”方笑塵說(shuō)：“作為一家國(guó)家級(jí)專精特新小巨人企業(yè)，我們將繼續(xù)堅(jiān)持以創(chuàng)新為根本，為國(guó)家科技自立自強(qiáng)貢獻(xiàn)更多力量。”

（中國(guó)日?qǐng)?bào)陜西記者站）