國際碳化硅及相關材料會議ICSCRM（The International Conference on Silicon Carbide and Related Materials）是以碳化硅為代表的寬禁帶半導體以及相關材料、器件的產(chǎn)業(yè)與學術并重的高水平國際論壇。9月16日，ICSCRM 2022在瑞士達沃斯圓滿落幕，天岳先進參加會議并就8英寸碳化硅襯底最新研發(fā)情況作出匯報。
（晶型拉曼圖譜檢測報告）
襯底直徑是衡量晶體制備水平的重要指標之一，天岳先進較早布局了8英寸產(chǎn)品的研發(fā)，是國內(nèi)最早研發(fā)和布局產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)之一。目前公司8英寸碳化硅襯底研發(fā)進展順利，晶型均一穩(wěn)定，具有良好的結晶質量。
有別于單晶硅等材料在生長過程中可以擴徑的特點，碳化硅襯底材料的擴徑需要先制備大尺寸籽晶，并且需要對缺陷和應力分布等進行嚴格控制。天岳先進從籽晶入手，在粉料合成、熱場設計、工藝固化、過程控制、加工檢測等全流程實現(xiàn)技術自主可控。
公司持續(xù)加大8英寸導電型襯底產(chǎn)業(yè)化突破。在前期自主擴徑實現(xiàn)8英寸產(chǎn)品研發(fā)成功的基礎上，將繼續(xù)加大技術和工藝突破，并根據(jù)市場需求，積極布局產(chǎn)業(yè)化。
（來源：天岳先進）
（來源：天岳先進）
