據(jù)悉，近日，浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心（以下簡(jiǎn)稱“科創(chuàng)中心”）先進(jìn)半導(dǎo)體研究院在首席科學(xué)家楊德仁院士的帶領(lǐng)下，利用全新的熔體法技術(shù)路線研制氧化鎵體塊單晶以及晶圓，目前已成功制備直徑2英寸（50.8 mm）的氧化鎵晶圓。

 

據(jù)浙大杭州科創(chuàng)中心消息顯示，使用新技術(shù)路線生長(zhǎng)的氧化鎵晶圓有兩個(gè)顯著優(yōu)勢(shì)，一是使用這種方法生長(zhǎng)出的氧化鎵晶圓的晶面具有特異性，使得制作的功率器件具有較好的性能；二是由于采用了熔體法新路線，減少了貴金屬銥的使用，使得氧化鎵生長(zhǎng)過(guò)程不僅更簡(jiǎn)單可控，成本也更低，具有更大的產(chǎn)業(yè)化前景。