華懋科技旗下徐州博康近期收到某國內(nèi)主流存儲芯片廠商的半導(dǎo)體光刻膠采購訂單，此前該產(chǎn)品型號全部依賴于海外進口。該產(chǎn)品系博康HTI560系列光刻膠，是基于對羥基苯乙烯聚合物樹脂的化學放大型光刻膠。
該產(chǎn)品所用原材料包括單體、樹脂及光酸100%由博康自主生產(chǎn)，其在客戶端的整個測試認證周期近2年，其放量采購標志著博康半導(dǎo)體光刻膠在國內(nèi)主流12寸晶圓廠獲得了正式認可，既包括產(chǎn)品性能的全面達標，也包含對博康光刻膠批量供應(yīng)能力的認可。
考慮到該款產(chǎn)品的適用性很強，博康已經(jīng)開始積極拓展其他客戶，根據(jù)不同客戶產(chǎn)品工藝特點的不同對該款光刻膠進行微調(diào)，最終實現(xiàn)該類產(chǎn)品的商業(yè)價值最大化。目前，博康的i-line/KrF/ArF/ArF immersion等多個系列產(chǎn)品正在國內(nèi)主流的邏輯芯片與存儲芯片廠進行評估驗證。尤其是高端的KrF高分辨率產(chǎn)品及ArF immersion產(chǎn)品，性能指標完全比肩國外大廠，已經(jīng)獲得了客戶端的良好評價結(jié)果。
此外，博康還有多個ArF immersion//KrF/i-line產(chǎn)品積極開發(fā)中，包含immersion NTD光刻膠，KrF高深寬比厚膠等，爭取未來實現(xiàn)更全面的產(chǎn)品類別覆蓋，早日解決國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠“卡脖子”問題。
