日前，至純科技發(fā)布公開(kāi)發(fā)行A股可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案。預(yù)案顯示，公司擬公開(kāi)發(fā)行總額不超過(guò)人民幣11.00億元（含11.00億元）的可轉(zhuǎn)換公司債券（以下簡(jiǎn)稱“本次發(fā)行”），

 

根據(jù)預(yù)案，至純科技本次發(fā)行所募集資金扣除發(fā)行費(fèi)用后擬全部投資于以下項(xiàng)目：?jiǎn)纹瑵穹üに嚹K、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目；至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項(xiàng)目；集成電路大宗氣體供應(yīng)站及配套項(xiàng)目；補(bǔ)充流動(dòng)資金或償還銀行貸款。

 

圖片來(lái)源：至純科技公告截圖

 

其中，單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資5.23億元，擬使用募集資金金額2.80億元，項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)為上海市。該項(xiàng)目基于公司現(xiàn)有半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備28nm的研發(fā)及生產(chǎn)的技術(shù)積累（包括濕法去膠、刻蝕、清洗、刷洗），將針對(duì)14nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)的高階單片濕法工藝模塊、單片式腔體進(jìn)行研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

 

公告中進(jìn)一步指出，該項(xiàng)目有助于滿足14nm及以下高階工藝節(jié)點(diǎn)的需求，提升在高寬深比條件下的濕法工藝模塊研發(fā)能力，實(shí)現(xiàn)整機(jī)產(chǎn)品在14nm及以下的邏輯芯片及1Xnm存儲(chǔ)芯片、以及特殊工藝的制造應(yīng)用，進(jìn)一步加快國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程，鞏固公司在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體濕法設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先地位。

 

至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項(xiàng)目總投資3.31億元，擬使用募集資金金額1.30億元，建設(shè)地點(diǎn)為北京市。該項(xiàng)目擬在北京亦莊設(shè)立濕法設(shè)備、半導(dǎo)體零部件及高純工藝系統(tǒng)北方產(chǎn)業(yè)制造基地，研發(fā)生產(chǎn)應(yīng)用于濕法清洗設(shè)備的核心零部件和更先進(jìn)制程的半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備及泛半導(dǎo)體（集成電路、顯示屏、光電、光伏等）領(lǐng)域的高純工藝系統(tǒng)、高純工業(yè)設(shè)備。

 

公告表示，本項(xiàng)目的實(shí)施將擴(kuò)大公司產(chǎn)品品類和生產(chǎn)規(guī)模、增強(qiáng)公司產(chǎn)品下游應(yīng)用領(lǐng)域，同時(shí)提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，鞏固并提升公司的行業(yè)地位。

 

集成電路大宗氣體供應(yīng)站及配套項(xiàng)目總投資3.89億元，擬使用募集資金金額3.60億元，建設(shè)地點(diǎn)為上海市。該項(xiàng)目將基于公司在大宗氣站建設(shè)相關(guān)的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)積累，為上海集成電路 裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司12英寸集成電路研發(fā)制造生產(chǎn)線，建造大宗氣體供應(yīng)站及其配套設(shè)施。

 

公告稱，本項(xiàng)目的實(shí)施將有利于豐富公司的產(chǎn)品種類，為公司創(chuàng)造新的業(yè)務(wù)增長(zhǎng)點(diǎn)，增強(qiáng)與集成電路領(lǐng)域客戶的粘性，優(yōu)化下游客戶結(jié)構(gòu)，同時(shí)有利于提升我國(guó)電子大宗氣體的技術(shù)水平，加速國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程。

 

此外，至純科技計(jì)劃將本次募集資金3.30億元用于補(bǔ)充流動(dòng)資金或償還銀行貸款，以滿足公司流動(dòng)資金需求，從而提高公司的抗風(fēng)險(xiǎn)能力和持續(xù)盈利能力。

 

據(jù)了解，至純科技目前主營(yíng)產(chǎn)品包括高純工藝系統(tǒng)、半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備、光傳感應(yīng)用及光學(xué)元器件。

 

根據(jù)公告披露的信息，在半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備方面，至純科技已經(jīng)具備了28nm及以上濕法工藝全系列的設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)能力（包括濕法去膠、刻蝕、清洗、刷洗）。目前公司濕法設(shè)備已經(jīng)切入一線用戶，用戶有中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華為、華潤(rùn)、燕東、臺(tái)灣力晶等。