作為全球第一光刻機(jī)供應(yīng)商，荷蘭ASML(阿斯麥)今天公布了2021年第二季度財(cái)報(bào)。當(dāng)季，ASML凈銷售額40億歐元，毛利率50.9％，凈收入10億歐元，凈預(yù)訂額83億歐元，其中EUV極紫外光刻機(jī)就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達(dá)175億歐元。
ASML在財(cái)報(bào)中還披露，第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，相比之前的NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15-20％，覆蓋率（套刻精度）提高了約30％。不過，ASML未透露接收客戶是哪一家。ASML還表示，正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲(chǔ)行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。
ASML EUV光刻機(jī)目前還是第一代產(chǎn)品，EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，并發(fā)展了一系列型號(hào)。最早量產(chǎn)出廠的是NXE:3400B，產(chǎn)能有限，晶圓產(chǎn)能只有125PWH，目前的出貨主力是NXE:3400C，產(chǎn)能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D產(chǎn)能進(jìn)一步提升到160WPH，價(jià)格據(jù)說也達(dá)到了1.45億美元(約合人民幣9.38億元)。
第二代EUV光刻機(jī)將會(huì)是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進(jìn)一步提高光刻精度，但原計(jì)劃2023年問世，現(xiàn)在推遲到2025-2026年，而價(jià)格預(yù)計(jì)將突破3億美元。第三季度，ASML預(yù)計(jì)凈銷售額52-54億歐元，毛利率51-53％。
