據(jù)上海臨港消息，2月24日下午，臨港新片區(qū)管委會與超微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。

超微公司主要從事電子束及光學量檢測設備的研發(fā)與產業(yè)化，擬投資10億元在臨港建設電子束和光學量檢測設備研發(fā)和制造基地項目，聚焦集成電路重大設備技術開發(fā)與產品市場化，并探索人工智能在圖像處理、設備智能化方面的應用。

天眼查顯示，超微半導體設備（上海）有限公司注冊成立于2024年11月22日，法定代表人為尹志堯，其控股股東為中微半導體設備（上海）股份有限公司（持股60%）。

2月18日，中微半導體設備（上海）股份有限公司與成都高新區(qū)簽訂投資合作協(xié)議，該企業(yè)將在成都高新區(qū)設立全資子公司并建設研發(fā)及生產基地暨西南總部項目。該項目總投資額約30.5億元，注冊資本1億元，并計劃購地50余畝，用于建設研發(fā)中心、生產制造基地、辦公用房及附屬配套設施，以滿足量產需求。項目擬于2025年啟動建設，2027年正式投入生產。

中微公司成立于2004年，是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。該公司是國內高端芯片設備龍頭企業(yè)之一，憑借出色的創(chuàng)新能力與持續(xù)的技術進步能力，中微公司四次榮登福布斯中國創(chuàng)新力企業(yè)50強榜單。2024年，公司研發(fā)投入預計24.5億元，研發(fā)投入同比增長94.1%。截至2024年9月，該公司已申請2744項專利，已獲授權專利1716項。

自2019年臨港新片區(qū)成立以來，經過五年的發(fā)展，臨港集成電路產業(yè)已經成為新片區(qū)投資規(guī)模最大、集群效應最強、產業(yè)鏈布局最完善的核心產業(yè)，目前已集聚了300多家在國內外有影響力的集成電路企業(yè)。