11月4日，睿勵科學儀器完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯(lián)合領投，資金將用于提升半導體制程用光學量檢測設備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，并加大市場開拓力度。 

睿勵科學儀器成立于2005年，專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權及核心技術的光學量檢測設備，服務集成電路芯片制造工藝。作為國內(nèi)首批半導體前道工藝國產(chǎn)設備公司，睿勵科學儀器也是國內(nèi)首家專注于量檢測領域的半導體設備公司。 

睿勵科學儀器的主要產(chǎn)品包括薄膜測量、尺寸光學檢測設備，以及硅片厚度和翹曲測量設備等，現(xiàn)已成功進入三星和長江存儲的生產(chǎn)線，新研制的缺陷檢測設備也已在下游客戶中得到應用。 

在缺陷檢測方面，睿勵科學儀器推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD系列設備，其中WSD系列是首款應用于半導體前道工藝并具備量產(chǎn)能力的國產(chǎn)缺陷檢測設備。目前，公司正在進行LED、顯示面板及化合物半導體領域的客戶驗證。 

據(jù)悉，WSD系列產(chǎn)品專為集成電路芯片及泛半導體工藝（如SiC、OLED、Micro LED等）設計，提供高精度光學晶圓外觀缺陷檢測，最高檢測精度可達100nm，兼容4~12英寸晶圓，支持明場和暗場檢測。 

值得一提的是，睿勵科學儀器與中微公司有著密切的合作關系。2023年，中微公司以5790.21萬元收購了睿勵科學儀器6.76%的股權，旨在促進產(chǎn)業(yè)鏈延伸并培育新的業(yè)務增長點。中微公司主要從事高端半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，業(yè)務涵蓋半導體集成電路制造、先進封裝、LED外延片生產(chǎn)、功率器件、MEMS制造等領域。 

（來源：LEDinside）