4月25日，拓荊科技（上海）半導體先進工藝裝備研發(fā)與產業(yè)化項目”主體鋼結構全面完工封頂。上海地產閔虹集團消息顯示，該項目建筑面積約10萬㎡，用于開發(fā)先進的ALD薄膜工藝技術及高產能設備平臺，并實現以臨港為中心客戶群所需半導體設備的產業(yè)化。
拓荊科技（上海）有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）成立于2020年12月，是拓荊科技股份有限公司在臨港設立的全資子公司。拓荊科技主要從事高端集成電路薄膜裝備的研發(fā)、生產與銷售，聚焦半導體薄膜沉積設備，是國內專用量產型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD設備的企業(yè)。
