2024年4月9-11日，一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)——2024九峰山論壇暨中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（簡(jiǎn)稱(chēng)“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會(huì)展中心舉辦。解決方案提供商Axcelis將亮相本屆盛會(huì)，誠(chéng)邀業(yè)界同仁蒞臨A112展臺(tái)參觀、交流合作。

本屆CSE博覽會(huì)由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實(shí)驗(yàn)室共同主辦，以“聚勢(shì)賦能 共赴未來(lái)”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專(zhuān)家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術(shù)與商貿(mào)交流”的形式，為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準(zhǔn)對(duì)接平臺(tái)，助力企業(yè)高效、強(qiáng)力拓展目標(biāo)客戶資源，加速驅(qū)動(dòng)中國(guó)化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級(jí)。

CSE作為2024年首場(chǎng)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)得到了多方力量的大力支持，三大主題展區(qū)，六大領(lǐng)域，將集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，將打造化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的標(biāo)桿性展會(huì)。助力打造全球化合物半導(dǎo)體平臺(tái)、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的燈塔級(jí)盛會(huì)，集中展示化合物半導(dǎo)體上下游全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品，搭建企業(yè)發(fā)布年度新產(chǎn)品新技術(shù)的首選平臺(tái)，支撐產(chǎn)業(yè)鏈及中部地區(qū)建設(shè)具有全球影響力的萬(wàn)億級(jí)光電子信息產(chǎn)業(yè)集群。

45年以來(lái), Axcelis一直在為半導(dǎo)體行業(yè)提供高產(chǎn)能，創(chuàng)新型的解決方案。Axcelis致力于通過(guò)設(shè)計(jì)、制造離子注入系統(tǒng)并提供產(chǎn)品生命周期的全程支持來(lái)推動(dòng)離子注入相關(guān)制程，這是集成電路制造眾最關(guān)鍵的賦能步驟之一。想要了解更多，請(qǐng)點(diǎn)擊www.axcelis.com.

產(chǎn)品介紹

Purion XE Series

Purion XE系列單片式高能離子注入平臺(tái)結(jié)合了RF線性加速器(LINAC)的制程和生產(chǎn)力優(yōu)勢(shì)，且具有Purion平臺(tái)的可靠性、高精準(zhǔn)度及工藝靈活性。Purion XE系列的基礎(chǔ)產(chǎn)品是Purion XE,還包括能量范圍更廣的Purion EXE、Purion VXE和Purion XEmax。此外，還提供適用于功率器件市場(chǎng)的Purion XE和Purion EXE Power系列。

2）Purion H Series

Purion H系列是Axcelis先進(jìn)的單片式大束流離子注入平臺(tái)。Purion H采用增強(qiáng)型點(diǎn)狀離子束掃描技術(shù)，開(kāi)創(chuàng)了旨在提升良率的離子注入技術(shù)新時(shí)代。Purion H為客戶提供了前所未有的工藝控制水平，以應(yīng)對(duì)轉(zhuǎn)換成3D器件的新挑戰(zhàn)。

3）Purion M Series

Purion M是唯一適用于中、低劑量所有溝道工藝應(yīng)用的中束流離子注入平臺(tái)。該平臺(tái)可提升單片晶圓產(chǎn)能，涵蓋了傳統(tǒng)中束流工藝、低能量中劑量HALO離子注入和亞兆電子伏特阱區(qū)注入新興工藝。Purion M是Purion Power Series的最初產(chǎn)品成員。

值此之際，我們誠(chéng)邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會(huì)，蒞臨展位現(xiàn)場(chǎng)參觀交流、洽談合作。

關(guān)于JFSC&CSE 2024