不久前，SEMI對半導(dǎo)體設(shè)備市場做了一份預(yù)測，2021年原始設(shè)備制造商總銷售額將達(dá)到1030億美元，比2020年的行業(yè)紀(jì)錄（710億美元）猛增44.7%。到2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場將擴(kuò)大到1140億美元。半導(dǎo)體設(shè)備正在處于一個(gè)黃金時(shí)代。
國產(chǎn)設(shè)備迎風(fēng)飛
近期，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)紛紛公布了其對于2021財(cái)年的業(yè)績預(yù)告，從預(yù)報(bào)可以看出，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在過去一年，整體取得了不俗的成績。
北方華創(chuàng)
北方華創(chuàng)去年?duì)I收鎖定在85~109億元，同增40%~80%，凈利潤鎖定在9.4~12.08億元，同增75%~125%。
從財(cái)報(bào)來看，集成電路占到北方華創(chuàng)設(shè)備業(yè)務(wù)的50%~60%，北方華創(chuàng)近期也表示，由于下游需求相對旺盛，公司會在半導(dǎo)體設(shè)備、集成電路及電子元器件方面的銷售有持續(xù)的增長。
中微公司
中微公司預(yù)計(jì)2021年?duì)I收31.08億元，同增36.73%。凈利潤落在9.5~10.3億，同增93.01%~109.26%。
在產(chǎn)品上，去年11月，中微公司的第1500個(gè)CCP刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺順利付運(yùn)，預(yù)計(jì)在2022年前后推出兩款CCP新應(yīng)用（大馬士革和極高深寬比刻蝕），大馬士革工藝有望覆蓋5nm及以下，CCP介質(zhì)刻蝕機(jī)在實(shí)驗(yàn)室中達(dá)到的深寬比超60:1。
2021年是擴(kuò)產(chǎn)的一年
過去一年，受到全球產(chǎn)能緊缺的影響，國內(nèi)外的晶圓廠陸續(xù)在進(jìn)行產(chǎn)能擴(kuò)充，這也是半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入黃金時(shí)代的根本原因。
全球半導(dǎo)體觀察此前統(tǒng)計(jì)了全球主要的晶圓大廠的擴(kuò)產(chǎn)情況。
△Source：全球半導(dǎo)體觀察根據(jù)公開資料整理
從統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)來看，臺積電預(yù)計(jì)3年投入1000億美元用于擴(kuò)產(chǎn)，并于2021年11月宣布在日本興建12英寸晶圓廠。此外臺積電還向高雄租地，設(shè)立生產(chǎn)7nm及28nm制程的晶圓廠。
三星則預(yù)計(jì)2026年的產(chǎn)能將達(dá)到目前的3倍。2021年11月其宣布投資170億美元在德州興建5nm制程為主的12英寸晶圓廠，英特爾則在踐行自己的IDM2.0戰(zhàn)略，根據(jù)外媒報(bào)道，英特爾將在包括法國、意大利以及德國等地新建或擴(kuò)充產(chǎn)能。
中國大陸市場中，中芯國際是屬于最忙的。
2021年1月，中芯京城動工，該項(xiàng)目分為兩期，建成后將達(dá)成每月約10萬片12英寸晶圓產(chǎn)能。
3月，中芯國際又宣布與深圳市政府的一個(gè)基金簽署合作協(xié)議，共同投資153億新建晶圓廠，重點(diǎn)生產(chǎn)28納米及以上的集成電路并提供技術(shù)服務(wù)，旨在實(shí)現(xiàn)最終每月約4萬片12英寸晶圓的產(chǎn)能。預(yù)期將于2022年開始生產(chǎn)。
9月，中芯國際發(fā)布公告稱，已與上海臨港管委會簽訂合作框架協(xié)議，將成立合資公司規(guī)劃建設(shè)產(chǎn)能為10萬片/月的12英寸晶圓代工生產(chǎn)線項(xiàng)目。
華虹則在4月公布了無錫華虹集成電路一期擴(kuò)能項(xiàng)目情況，該項(xiàng)目計(jì)劃總投資52億元，將形成一條工藝等級90-65/55nm、月產(chǎn)能達(dá)到6.5萬片的12英寸特色工藝集成電路芯片生產(chǎn)線。
此外，華大旗下的積塔半導(dǎo)體也在下半年完成了80億的募資，并已啟動特色工藝生產(chǎn)線的二期項(xiàng)目，規(guī)劃擴(kuò)建12英寸特色工藝生產(chǎn)線至月產(chǎn)能5萬片。
設(shè)備交期拉長
產(chǎn)能緊缺需要大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，而大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)又會加速半導(dǎo)體設(shè)備供不應(yīng)求，從而拉長設(shè)備交期。根據(jù)SEMI的統(tǒng)計(jì)，北美半導(dǎo)體設(shè)備在去年11月份交期再創(chuàng)新高，需求十分旺盛。
而中游的晶圓廠，因?yàn)樵O(shè)備交期而拖延擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程。去年12月，中芯國際資深副總裁彭進(jìn)就曾表示，受關(guān)鍵設(shè)備交期拉長影響，中芯國際擴(kuò)產(chǎn)不如預(yù)期。8英寸每月實(shí)際開出新產(chǎn)能4.5萬片，較先前預(yù)期降低35%；12英寸月產(chǎn)能每月僅增加1萬片，擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)度不如預(yù)期。
幾乎同一時(shí)間，聯(lián)電也表示，28/14nm設(shè)備交期拉長，部分最精密、供應(yīng)商最少的設(shè)備交期可達(dá)30個(gè)月。為了產(chǎn)能擴(kuò)充的順利進(jìn)行，聯(lián)電計(jì)劃投資762.73億新臺幣(約合175億人民幣)，用于提前搶購2-3年后的生產(chǎn)所需設(shè)備。
供不應(yīng)求的不僅僅是新設(shè)備，還有二手設(shè)備，尤其是許多8英寸的設(shè)備本已不再生產(chǎn)，而8英寸產(chǎn)能的需求又持續(xù)上升，市面上的二手設(shè)備就成了搶手貨。比如根據(jù)媒體的報(bào)道，佳能1995年生產(chǎn)的一款蝕刻設(shè)備FPA3000i4，該設(shè)備在2014年的價(jià)值大概10萬美元左右，今年已經(jīng)翻了17倍，漲到了170萬美元。
對于想要擴(kuò)產(chǎn)的晶圓廠來說，抉擇很困難，要么為舊設(shè)備支付高昂的價(jià)格，要么進(jìn)入新設(shè)備的等待名單，這往往會延長到6個(gè)月甚至更長時(shí)間。
國產(chǎn)化率提升
擴(kuò)產(chǎn)除了帶來設(shè)備廠業(yè)績的增長，對于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來說，也會帶動國產(chǎn)化率的提升。
根據(jù)國際招標(biāo)網(wǎng)的數(shù)據(jù)來看，近期長江存儲新增13項(xiàng)目中標(biāo)中，有1臺CVD（荷蘭ASM 1臺）、4臺PVD（北方華創(chuàng)4臺）、2臺刻蝕（北方華創(chuàng)2臺）、6臺熱處理（北方華創(chuàng)6臺）。長江存儲從2017年至目前的累計(jì)國產(chǎn)化率約16.9%，而2021年初至今國產(chǎn)化率約22.4%。
將時(shí)間軸拉長來看，在長江存儲2017~2021年刻蝕設(shè)備招標(biāo)中，中微公司設(shè)備中標(biāo)數(shù)量位列第三，累計(jì)58臺，僅次于泛林、東京電子，高于應(yīng)用材料。氧化擴(kuò)散/熱處理設(shè)備方面，北方華創(chuàng)中標(biāo)設(shè)備數(shù)量靠前，尤其是在長江存儲中獲采購數(shù)量較大。
上海積塔2021年初至今國產(chǎn)化率約46.6%。華力（二期）中標(biāo)了1臺沈陽拓荊的CVD，為2021年首次中標(biāo)國產(chǎn)設(shè)備。
國產(chǎn)設(shè)備的滲透率正在一步步的增加。
總結(jié)
春江水暖鴨先知，如今半導(dǎo)體正處于春意盎然之中，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備之花也在絢爛綻開。臺積電對于2022年的預(yù)估依然樂觀，認(rèn)為該年度全球代工行業(yè)會再成長20%。而在臺積電這個(gè)龍頭的帶領(lǐng)下，其它晶圓廠也不會表現(xiàn)太差，相應(yīng)的對于半導(dǎo)體設(shè)備，尤其是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，是一個(gè)機(jī)遇。 
