天眼查顯示，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司“一種晶圓位置檢測(cè)裝置及半導(dǎo)體設(shè)備”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年12月13日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN119132999A。

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種晶圓位置檢測(cè)裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，晶圓位置檢測(cè)裝置的第一環(huán)形滑軌和第二環(huán)形滑軌相對(duì)的設(shè)置于半導(dǎo)體腔室的上下兩側(cè)；線(xiàn)性傳感器發(fā)射端與第一環(huán)形滑軌滑動(dòng)連接，線(xiàn)性傳感器接收端與第二環(huán)形滑軌滑動(dòng)連接；且線(xiàn)性傳感器發(fā)射端在晶圓的正投影以及線(xiàn)性傳感器接收端在晶圓的正投影均部分與晶圓重疊；處理器用于控制驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)線(xiàn)性傳感器發(fā)射端和線(xiàn)性傳感器接收端同步滑動(dòng)；并控制線(xiàn)性傳感器發(fā)射端發(fā)射檢測(cè)信號(hào)，以及線(xiàn)性傳感器接收端接收未被晶圓遮擋的檢測(cè)信號(hào)；根據(jù)線(xiàn)性傳感器接收端接收到的檢測(cè)信號(hào)，確定晶圓的圓心位置；其中，檢測(cè)信號(hào)能夠穿透半導(dǎo)體腔室。本申請(qǐng)解決了現(xiàn)有的工藝腔室密封難和需冷卻系統(tǒng)的問(wèn)題。