2024年4月9-11日，一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)——2024九峰山論壇暨中國(guó)國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)（簡(jiǎn)稱“JFSC＆CSE”）將在武漢光谷科技會(huì)展中心舉辦。 國(guó)產(chǎn)創(chuàng)新型設(shè)備廠商上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司將攜產(chǎn)品亮相博覽會(huì)。誠(chéng)邀業(yè)界同仁蒞臨2T52號(hào)展臺(tái)參觀、交流合作。
本屆CSE博覽會(huì)由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實(shí)驗(yàn)室共同主辦，以“聚勢(shì)賦能 共赴未來(lái)”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者。展會(huì)范圍涉及半導(dǎo)體材料及原輔料，半導(dǎo)體設(shè)備及零部件，功率半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及制造，光電子器件設(shè)計(jì)與制造，設(shè)計(jì)、仿真及制造管理類(lèi)軟件，封測(cè)及先進(jìn)應(yīng)用等六大領(lǐng)域，將集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，將打造化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的標(biāo)桿性展會(huì)。實(shí)現(xiàn)全球指引、產(chǎn)業(yè)聚集；強(qiáng)鏈延鏈、關(guān)鍵突破；龍頭齊聚、價(jià)值共創(chuàng)。將助力打造全球化合物半導(dǎo)體平臺(tái)、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的燈塔級(jí)盛會(huì)。
邦芯半導(dǎo)體成立于2020年，是一家專注于半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)的國(guó)產(chǎn)創(chuàng)新型設(shè)備廠商。自成立以來(lái)，邦芯在化合物芯片和硅基芯片制造設(shè)備上已研發(fā)了多款6/8/12寸去膠、刻蝕和薄膜沉積設(shè)備，并且已經(jīng)在客戶端實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。邦芯半導(dǎo)體的產(chǎn)品具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，通過(guò)包括設(shè)備、工藝、客戶支持在內(nèi)的多個(gè)領(lǐng)域的專業(yè)知識(shí)，持續(xù)為客戶提供高性價(jià)比的刻蝕和薄膜設(shè)備及應(yīng)用，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)諸多領(lǐng)域空白。
產(chǎn)品介紹
HongHu TSG 150W/200W
用于6/8寸GaN功率半導(dǎo)體工藝WCVD設(shè)備：
·搭建在邦芯自主研發(fā)的HongHu多腔室集群真空傳送平臺(tái)，能夠提供串行或并行的工藝處理；
·工藝腔室采用均勻的流場(chǎng)設(shè)計(jì)，保證鎢成膜速率和均勻性；
·自主的加熱盤(pán)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)成膜速率和均勻性可調(diào)。
主要應(yīng)用包括：鎢沉積工藝等。
HongHu Ivory 150W/200W
用于6/8寸化合物半導(dǎo)體加工工藝ICP刻蝕設(shè)備：
·搭建在邦芯自主研發(fā)的HongHu多腔室集群真空傳送平臺(tái)，能夠提供串行或并行的工藝處理；
·該系統(tǒng)采用優(yōu)化的ICP線圈設(shè)計(jì)，提供更高的刻蝕速率及更優(yōu)的均勻性；
·采用先進(jìn)表面涂層，提高零部件的使用壽命，穩(wěn)定的Particle性能和降低生產(chǎn)成本。
主要應(yīng)用包括：
·化合半導(dǎo)體GaN/SiC刻蝕工藝
·化合物半導(dǎo)體鎢回刻工藝
·硅刻蝕工藝
·金屬刻蝕工藝
HongHu Coral 150D/200D
用于6/8寸化合物半導(dǎo)體加工工藝CCP刻蝕設(shè)備：
·搭建在邦芯自主研發(fā)的HongHu多腔室集群真空傳送平臺(tái)，能夠提供串行或并行的工藝處理；
·獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，保證介質(zhì)膜刻蝕速率和均勻性；
·采用先進(jìn)表面涂層，提高零部件的使用壽命，穩(wěn)定的Particle性能和降低生產(chǎn)成本，提升Uptime和MTBC。
主要應(yīng)用包括：
·化合半導(dǎo)體介質(zhì)刻蝕工藝
·0.11-0.35um制程集成電路介質(zhì)刻蝕工藝
值此之際，我們誠(chéng)邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會(huì)，蒞臨展位現(xiàn)場(chǎng)參觀交流、洽談合作。
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