據(jù)新泰廣電官微消息，5月21日，電子級硅烷項目簽約儀式在泰安市東岳山莊舉行。據(jù)了解，電子級硅烷項目位于新泰市樓德鎮(zhèn)，總投資15億元，規(guī)劃建設(shè)年產(chǎn)5000噸硅烷、50噸乙硅烷及1000噸二氯氫硅、10萬噸三氯氫硅的生產(chǎn)裝置及配套質(zhì)檢、公用工程、車間、倉庫、公司辦公樓等設(shè)備設(shè)施，建設(shè)氟硅高端材料項目及相關(guān)設(shè)施，項目全部建成達產(chǎn)后預計可實現(xiàn)年產(chǎn)值30億元。

電子級乙硅烷主要應(yīng)用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中,廣泛應(yīng)用在半導體、集成電路、太陽能電池等領(lǐng)域。