近日，東方晶源舉行國內(nèi)首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）出機(jī)儀式，正式宣布斬獲訂單并出機(jī)中芯國際。

此次出機(jī)的關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（型號(hào)：SEpA-c410）面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，可實(shí)現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測。進(jìn)駐中芯國際后，將通過實(shí)際產(chǎn)線驗(yàn)證，進(jìn)一步提升、完善設(shè)備性能，向產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)整體邁進(jìn)。