“無錫錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)擁有連城凱克斯等眾多集成電路裝備制造企業(yè),這在國內十分罕見。”無錫半導體協會秘書長、華虹副總裁黃安君近日表示,錫山初步成型的集成電路國產化裝備體系補齊了無錫集成電路產業(yè)鏈發(fā)展的關鍵一環(huán)。據悉,隨著項目的逐步投產,半導體級硅鍺直拉單晶爐設備等新裝備不斷涌現,這些產品通過大生產線的嚴格考核,開始批量應用,有的甚至出口到海外,實現了從無到有的突破。

引進一個企業(yè),帶來一批項目,打造一個產業(yè)。連城凱克斯的母公司大連連城數控主要為光伏及半導體產業(yè)提供技術領先且質量可靠的裝備和解決方案,其生產的各類高端裝備打破了進口設備總體壟斷的局面。繼該公司參股的深圳拉普拉斯、控股的上海釜川項目先后落戶錫山后,總投資30億元的連城凱克斯項目已經投產,去年產值達8.4億元,達產后年產2000臺各類半導體高端裝備,為全球眾多領先的半導體、太陽能硅片企業(yè)提供單晶生長設備。此外,艾華科技新一代納米薄膜生長裝備項目、威凱特微波破碎設備項目也已落地。
值得注意的是,錫山集成電路裝備制造贏得越來越多高端人才的青睞。去年年底,中科院院士楊德仁與連城凱克斯簽署聘任協議,在超大規(guī)模集成電路用硅材料、納米硅半導體材料等領域開展產學研合作。“同濟大學與公司合作建立新型半導體材料與裝配聯合研發(fā)中心,立足于優(yōu)勢材料、先進技術、核心裝備的研發(fā)。”連城凱克斯總經理黎志欣介紹,研發(fā)中心將在半導體、5G藍寶石、石墨烯、儲能等領域發(fā)力,解決一批“卡脖子”科研難題。