近日，由國家半導體照明工程研發(fā)及產業(yè)聯(lián)盟（CSA）與第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）主辦，南方科技大學微電子學院與北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司共同承辦的第十七屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA 2020）暨2020國際第三代半導體論壇（IFWS 2020）在深圳會展中心召開。
期間，由山西中科潞安紫外光電科技有限公司、中微半導體設備（上海）股份有限公司共同協(xié)辦的“固態(tài)紫外器件技術分會”上，北京大學康俊杰分享了面向消毒應用的超高功率深紫外光源的研究進展。報告從高質量AlGaN材料生長和深紫外芯片制備，陶瓷基板和超高功率集成光源及消毒應用等角度詳細分享了相關技術進展。
報告指出，采用NPSS和退火平片襯底生長AlN模板，其材料質量非常優(yōu)越。采用中微半導體設備（上海）有限公司高溫MOCVD設備生長的深紫外LED外延片具有良好的均勻性和一致性。開發(fā)出可進行超高功率集成封裝用的陶瓷基板。依托目前所掌握的技術，開發(fā)出能應用于殺菌消毒的超高功率集成光源，效果明顯。
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