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瑞士Microdiamant研發(fā)部門負責(zé)人Christian JENTGENS帶來了題為多晶金剛石微納米粉在SiC晶片加工中的應(yīng)用及其關(guān)鍵工藝技術(shù)的主題報告,報告表示,碳化硅業(yè)務(wù)的主要目標是提高效率,并介紹了SiC晶圓加工的個性化解決方案,從廠商角度分享了碳化硅晶圓最重要的特征,如何判斷產(chǎn)品品質(zhì)優(yōu)劣以及關(guān)鍵的流程步驟等內(nèi)容。
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2020-02-01 16:23
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