【視頻報告 2018】德德國愛思強產(chǎn)品管理總監(jiān)Jens VOIGT介紹了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解決方案》主題報告。他介紹說，愛思強的行星式反應器平臺是生產(chǎn)具有最高一致性、重復性和缺陷控制標準的化合物半導體器件的已建立的平臺，例如用VCSEL激光器證明的3D傳感器技術，這是當前高容量需求的關鍵驅動因素之一。同樣的要求組合也適用于Micro-LED技術：在低的缺陷水平下，結合外延層的高通量結構具有非常高的精度。行星式反應器平臺技術已經(jīng)被
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