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張逸韻:高溫氣氛
退火
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《高溫氣氛退火對體材料單晶氧化鎵晶體質(zhì)量的研究》作者:武松浩,張逸韻單位:北京理工大學(xué),中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
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2022-01-07 14:21
劉志彬:濺射中痕量氧
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《濺射中痕量氧氣對高溫退火AlN模板的極性調(diào)節(jié)作用》作者:劉志彬,郭亞楠,閆建昌,曾一平,李晉閩,王軍喜單位:中國科學(xué)院半
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2022-01-05 11:07
陳荔:基于高溫?zé)?span id="mi22mkq" class="highlight">退火
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2022-01-05 11:02
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