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【視頻報告 2018】P.S. RAGHAVAN教授:碳化硅襯底技術的最新進展

視頻IFWS2025-02-05 17:37
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高溫、高功率寬帶隙半導體要求掌握碳化硅(SiC)等材料的晶體生長過程。今天,SiC是通過氣相或液相法生長的,它包括下列過程:反應物的生成、反應物到生長表面的傳輸、生長表面的吸附、成核和最終晶體生長。GT Advanced Technologies首席技術官P.S. RAGHAVAN分享了《碳化硅襯底技術的最新進展》技術報告,報告中介紹了不同的SiC晶體生長過程以及SiC技術的最新進展。
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